一种单多晶硅棒检测装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116026264A(43)申请公布日2023.04.28(21)申请号202310014322.0(22)申请日2023.01.05(71)申请人扬州晶樱光电科技有限公司地址225699江苏省扬州市高邮市经济开发区凌波路86号(72)发明人张力峰杨定勇黄宝莹(74)专利代理机构上海远诺知识产权代理事务所(普通合伙)31397专利代理师尹晓雪(51)Int.Cl.G01B21/00(2006.01)G01B21/02(2006.01)B24B49/00(2012.01)B28D7/00(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图4页(54)发明名称一种单多晶硅棒检测装置(57)摘要本发明公开了一种单多晶硅棒检测装置，属于检测技术领域，解决了现有装置不能对方形晶棒进行驱动和限位，从而影响晶棒检测效率的问题，装置包括：支撑主体，支撑主体包括检测承载座；设置在检测承载座上的晶棒检测组件；晶棒检测组件包括：检测驱动机构，安装在所述检测承载座上，为驱动晶棒提供动力；与检测驱动机构连接的检测限位一体机构，所述检测限位一体机构用于晶棒的检测、驱动并限位；设置在所述检测承载座一侧的晶棒夹持机构；本申请中设置有检测限位一体机构，检测限位一体机构能够对不同规格的晶棒进行完好度检测，同时还能驱动晶棒位移，实现了截断、驱动、检测流水线作业。CN116026264ACN116026264A权利要求书1/2页1.一种单多晶硅棒检测装置，所述单多晶硅棒检测装置包括：支撑主体，所述支撑主体包括检测承载座；其特征在于，设置在所述检测承载座上的晶棒检测组件，所述晶棒检测组件用于不同型号单多晶硅棒的检测、驱动并限位；其中，所述晶棒检测组件包括：检测驱动机构，安装在所述检测承载座上，为驱动晶棒提供动力；与检测驱动机构连接的检测限位一体机构，所述检测限位一体机构用于晶棒的检测、驱动并限位；设置在所述检测承载座一侧的晶棒夹持机构，所述晶棒夹持机构用于不同型号晶棒的夹持固定。2.如权利要求1所述的一种单多晶硅棒检测装置，其特征在于：所述检测驱动机构包括：检测驱动件，所述检测驱动件固定安装在所述检测承载座上；至少一组设置在所述检测承载座上的检测传动部，所述检测传动部与检测驱动件连接，用于检测驱动件动力的传输。3.如权利要求2所述的一种单多晶硅棒检测装置，其特征在于：所述检测驱动机构还包括：检测联动轴，所述检测联动轴与检测传动部连接；设置在检测联动轴一侧的检测联动组件，所述检测联动组件与检测限位一体机构连接。4.如权利要求3所述的一种单多晶硅棒检测装置，其特征在于：所述检测联动组件包括：联动组件安装座，所述联动组件安装座固定安装在所述检测承载座上；与所述检测联动轴固定连接的主动齿轮；与所述主动齿轮啮合传动的从动齿轮，所述主动齿轮以及从动齿轮均与检测限位一体机构连接。5.如权利要求4所述的一种单多晶硅棒检测装置，其特征在于：所述检测限位一体机构包括：至少一组检测限位座，所述检测限位座可拆卸安装在所述检测承载座上；至少一组晶棒限位组，所述晶棒限位组安装在检测限位座上，用于待检测晶棒的导向限位；设置在所述检测承载座上的防偏移组，所述防偏移组用于辅助所述晶棒限位组工作，避免晶棒偏移。6.如权利要求5所述的一种单多晶硅棒检测装置，其特征在于：所述晶棒限位组包括：至少一组晶棒限位辊，所述晶棒限位辊用于晶棒的导向限位；安装在所述晶棒限位辊上的晶棒驱动辊，所述晶棒驱动辊用于驱动晶棒移动；视觉检测组，可拆卸安装在检测限位座上，用于晶棒表面视觉检测。7.如权利要求6所述的一种单多晶硅棒检测装置，其特征在于：所述防偏移组包括：可移动的防偏移座，所述防偏移座滑动安装在所述检测承载座上；2CN116026264A权利要求书2/2页至少一组防偏移辊，所述防偏移辊转动安装在所述防偏移座上，所述防偏移辊用于晶棒的导向限位；设置在所述防偏移座上的位移传感器。8.如权利要求7所述的一种单多晶硅棒检测装置，其特征在于：所述防偏移组还包括：偏移座调节件，所述偏移座调节件贯穿所述防偏移座，且转动安装在检测承载座上。9.如权利要求2‑8任一所述的一种单多晶硅棒检测装置，其特征在于：所述晶棒夹持机构包括：夹持安装座；至少一组夹持调节件，所述夹持调节件固定安装在夹持安装座上，夹持调节件的伸缩端固定连接有夹持升降座；至少一组晶棒夹持座，晶棒夹持座与夹持升降座之间可拆卸连接，晶棒夹持座上均布有多组晶棒夹持辊，晶棒夹持辊上开设有防滑槽。10.如权利要求2‑8任一所述的一种单多晶硅棒检测装置，其特征在于：还包括用于截断晶棒的晶棒截断组件，所述晶棒截断组件包括：截断承载座，所述截断承载座固定安装在检测承载座上；与截断承载座对应设置的晶棒截断刀；与晶棒截断刀固定连接的截