用于驱动探针运动的压电陶瓷执行器及其驱动控制系统.pdf

本公开描述了一种用于驱动探针运动的压电陶瓷执行器及其驱动控制系统,该压电陶瓷执行器包括驱动器外壳,设置在驱动器外壳内的压电陶瓷、杠杆、撞针,以及设置在驱动器外壳外的撞针接板;压电陶瓷的一端由可调节的螺丝活动连接在驱动器外壳内,压电陶瓷的另一端活动连接杠杆的一端,杠杆的另一端活动连接撞针的一端,撞针的主体部分设置在固定于驱动器外壳上的套筒内,撞针的另一端穿过套筒而抵接撞针接板,撞针的另一端开设有安装探针的开槽;其中,压电陶瓷和撞针分别与杠杆相垂直设置。由此,能够在较小的空间内实现对设置在撞针末端的探针的精准且快速的移动控制。