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金属薄膜材料蠕变原位测试装置及测试方法.pdf

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本发明公开一种金属薄膜材料蠕变原位测试装置及方法,包括底板,所述的底板上设有传动支撑板、真空步进电机、传动装置、支撑装置、两组摆轮装置、角度传感器、扭矩传感器;所述的角度传感器设于支撑装置外侧且与摆轮本体一端连接;所述的扭矩传感器设于传动装置与支撑装置之间,所述的扭矩传感器一端与第一动力输出轴或第二动力输出轴连接、另一端与摆轮本体连接。本发明利用真空加载模块可实现真空环境下的载荷稳定加载及控制,完成金属薄膜的蠕变性能测试。