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本发明公开了一种球形硅微粉成球设备及其成球工艺,包括从左至右依次设置的进料装置、成球装置和收集装置,所述进料装置、成球装置和收集装置整体呈水平式布置,所述进料装置包括加料仓(1),所述加料仓(1)的出料口安装有输送机构,所述输送机构与成球装置之间设置有输送管道(2),所述输送管道(2)上设置有送粉器(3)、氧气定量过滤器(4)和天然气定量过滤器(5);所述成球装置内包括成球炉(6)和设置于成球炉(6)下侧的初级收集器(7);所述收集装置包括设置于成球炉(6)出口端的二级精密分级机(9)和超细品收集器(10)。本发明具有使用更加安全的优点。