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低温泵及低温泵再生方法.pdf
2023-05-24
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相关资料
低温泵及低温泵再生方法.pdf
本发明提供一种能够去除附着于低温板的有机物的低温泵。低温泵(10)具备:至少1个低温板(38)等超低温表面,在其表面具有光催化剂层(50);及激励光源(60),配置成向光催化剂层(50)照射使光催化剂层(50)活化的激励光(62)。光催化剂层(50)含有可见光响应型光催化剂材料,激励光源(60)可以发出包含使可见光响应型光催化剂材料活化的可见光波长区域的光作为激励光(62)。
2023-05-24
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低温泵及低温泵的控制方法.pdf
本发明提供一种低温泵，该低温泵(10)具备：1级低温板(18)；2级低温板(19)；制冷机(16)，与1级低温板(18)及2级低温板(19)热连接，并将1级低温板(18)冷却至1级冷却温度，将2级低温板(19)冷却至低于1级冷却温度的2级冷却温度；及控制装置(100)，其构成为执行将1级冷却温度控制为1级目标温度的1级温度控制。控制装置(100)构成为，在1级温度控制的执行中检测出2级冷却温度的上升后使制冷机(16)的制冷能力增加。
2023-07-25
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用于中性束输入系统的低温泵组件再生方法.pdf
本发明公开用于中性束输入系统的低温泵组件再生方法，低温泵组件包括液氮杜瓦、液氦杜瓦、分子泵、罗茨泵、低温泵、温度测量控制装置，所述液氮杜瓦与低温泵内防辐射挡板连接，所述液氦杜瓦与所述低温泵内低温吸附面连接，低温吸附面上具有活性炭和加热丝，温度测量控制装置连接加热丝，分子泵、罗茨泵分别与低温泵连接；再生过程，包括多次循环进行升温，抽空和制冷，次数大于等于5。本发明的有益效果：使整个再生过程时间压缩到一小时左右，相比没有控制系统的自然再生过程6‑8小时，大大缩短了再生时间，回温过程能够实现安全稳定快速的回温。
2023-06-26
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低温泵、低温泵吸留气体量推测装置及其推测方法.pdf
本发明提供一种有助于恰当地设定低温泵再生间隔的指标。低温泵吸留气体量推测装置具备：极限压力确定部(110)，根据表示低温泵真空容器内的真空度的真空测量信号(V)，确定低温泵真空容器的极限压力(P)；及吸留气体量定量化部(112)，具备使极限压力(P)与吸留气体量推测值(G)建立关联的吸留气体量定量化函数(116)，并且将极限压力(P)转换成吸留气体量推测值(G)。
2023-11-19
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低温泵.pdf
本发明提供一种低温泵。所述低温泵包括泵本体、自润滑系统和电机，所述自润滑系统设于所述泵本体内，所述自润滑系统包括相连通的主流道、轴承支路、主轴支路及由所述主轴支路延伸的第一支路、第二支路和第三支路，所述主流道由所述壳体的入口、所述壳体与所述叶轮形成的流道、所述后盖的润滑槽依次连通形成，各支路相通。与相关技术相比，本发明提供的低温泵，将所述自润滑系统内置于所述泵本体内，所述自润滑系统包括多条管路，能够实现对泵本体内的多个部件进行自润滑功能，且所述增压叶轮的设计，能提高所述自润滑系统的润滑效果，从而保证泵本体
2023-09-15
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