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本发明公开了一种改进5步相移干涉算法在极小相移步长下的应用,具有这样的特征,包括以下步骤:步骤1,使相移器产生预先设定的极小相移步长;步骤2,由电荷耦合元件采样记录5幅干涉条纹图;步骤3,进一步由改进5步相移算法对干涉条纹图中的光强数据进行处理,得到不连续的包裹相位;步骤4,对不连续的包裹相位通过相位解包裹算法得到连续的待测相位分布。本发明在线性相移误差情况下,由于通过相位空间求和取平均运算,极大地减少了相位纹波误差,可计算得到高度近似实际相移的相移步长,进一步提高了5步Hariharan算法的精度。而在随机相移误差情况下,为完全利用干涉条纹信息,扩展了相移频率求解步骤。