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基于氧化石墨烯的湿度传感器及其制备方法.pdf

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公开一种基于氧化石墨烯的湿度传感器,结构简单,响应时间更短,灵敏度更高。其包括:绝缘基底(1)、金电极(2)、氧化石墨烯薄膜(3);绝缘基底是平整的,两个平行的金电极真空热蒸镀在绝缘基底上,这三者形成一个绝缘凹槽,在绝缘凹槽的上方设置氧化石墨烯薄膜。还提供了制备方法。