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基于氮化硅的微环-亚波长光栅可调谐滤波器.pdf

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本发明提供一种基于氮化硅的微环?亚波长光栅可调谐滤波器,包括:硅衬底(1)、二氧化硅埋氧层(2)以及氮化硅层,其中二氧化硅埋氧层(2)沉积在硅衬底(1)之上,氮化硅层位于二氧化硅埋氧层(2)之上。本发明入射光波依次经过微环谐振腔和亚波长光栅的两次滤波,最终获得单一滤波峰或具有一定带宽的滤波谱,且通过对GST加热的方式调控亚波长光栅的有效折射率,最终实现了一个结构紧凑、可实现对特定波段滤波且中心波长可调谐的片上集成光子滤波器。