镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜的制备与性质研究.doc
秋花****姐姐
在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便
相关资料
镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜的制备与性质研究.doc
镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜的制备与性质研究随着当今透明光电子器件的不断发展,要求透明导电薄膜的透明区域向紫外波段扩展,而且目前光电子学研究的一个重要领域是寻找短波长发光半导体材料。为满足紫外透明光电子器件和紫外半导体发光器件的发展需求,研究新型紫外透明宽带隙半导体薄膜材料具有重要的实际意义。氧化铟(In2O3)和氧化镓(Ga2O3)薄膜都是宽带隙半导体材料,它们的光学带隙分别为3.6eV和4.9eV。镓铟氧化物[Ga2xIn2(1-x)O3]可以看作由In2O3和Ga2O3材料按照不同比例形成的三元固溶体
镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜的制备与性质研究的中期报告.docx
镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜的制备与性质研究的中期报告1.研究背景镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜是重要的半导体材料,在光电领域和电子器件中具有广泛的应用。其中,镓铟氧化物薄膜以其高透明性、低电阻率和高导电性等特点,被广泛用于透明导电电极、光伏电池、平板显示器等领域。氧化锡薄膜则以其优异的光学和电学性能,可用于太阳能电池、液晶显示器、光电导体等领域。因此,研究镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜的制备方法以及性质表征,对于提高其应用性能具有重要意义。2.研究内容本次研究旨在制备镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜,并对其微观结构和物
氧化铟锡薄膜制备工艺及薄膜性能研究的任务书.docx
氧化铟锡薄膜制备工艺及薄膜性能研究的任务书任务书题目:氧化铟锡薄膜制备工艺及薄膜性能研究1.研究背景氧化铟锡(ITO)薄膜是一种具有优良光电性能的透明导电材料,广泛应用于平板显示器、太阳能电池、触摸屏和LED等领域。随着技术的不断发展,对ITO薄膜的性能和制备工艺也提出了新的要求。因此,研究ITO薄膜的制备工艺及其性能具有重要意义。2.研究目的本研究旨在探讨ITO薄膜的制备工艺及其性能,具体目的如下:(1)调查国内外ITO薄膜的制备方法和应用情况,总结其特点和优缺点。(2)研究不同制备条件下ITO薄膜的性
铟镓锌氧化物薄膜晶体管的研究的综述报告.docx
铟镓锌氧化物薄膜晶体管的研究的综述报告铟镓锌氧化物(IGZO)是一种新型材料,具有优异的电学性能、透明度和稳定性。这种材料已经广泛应用于平板显示器、智能手机、笔记本电脑等电子产品中。作为一种重要的IGZO器件,IGZO薄膜晶体管(TFT)在控制LCD显示器像素单元方面具有重要作用。本文将就IGZOTFT的研究进展进行综述。一、IGZOTFT的制备方法IGZOTFT的制备方法主要包括物理蒸发法、溅射法、化学气相沉积法。其中,溅射法是制备IGZOTFT的主流方法之一。IGZO薄膜的溅射条件较为复杂,需要确定I
铟镓锌氧化物薄膜的制作方法、薄膜晶体管和显示面板.pdf
本申请公开了一种铟镓锌氧化物薄膜的制作方法、薄膜晶体管和显示面板,在原子层沉积装置中持续通入预设时间的锌前驱体,完成通入后停留预设的时间,通入惰性气体吹扫,持续通入预设时间的氧前驱体,完成通入后停留预设的时间,通入惰性气体吹扫;持续通入预设时间的镓前驱体,完成通入后停留预设的时间,通入惰性气体吹扫,持续通入预设时间的氧前驱体,完成通入后停留预设的时间,通入惰性气体吹扫;持续通入预设时间的铟前驱体,完成通入后停留预设的时间,通入惰性气体吹扫,持续通入预设时间的氧前驱体,完成通入后停留预设的时间,通入惰性气体