无原始粉末颗粒边界的硬质涂层用铝基合金靶材制备方法.pdf

本发明提供了一种无原始粉末颗粒边界的硬质涂层用铝基合金靶材的制备方法。该方法是以铝粉末和一种或多种其他元素粉末为原料,原料粉末经过球磨混合预处理后进行冷等静压处理,将冷等静压压坯装入包套后进行真空热脱气处理,将脱气后的包套通过热轧工艺实现粉末的致密化成形,然后通过热处理控制靶材的显微组织,最后进行机械加工获得靶材成品。本发明制备的硬质涂层用铝基合金靶材具有以下优点:(1)合金成分比例范围宽,其他元素粉末可以是钛、铬、硅、钨、钒、硼、钽、钇、铌、钼、锆、铪等粉末中的一种或多种;(2)靶材致密度高,相对密度达到99%以上;(3)靶材纯度高并且可自由调节;(4)靶材显微组织无原始粉末颗粒边界。