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一种涡旋光束激励的精密光栅测量装置,本发明以携带拓扑电荷的涡旋光束作为光栅的激励光源,利用±m级衍射涡旋光束的干涉进行位移测量。涡旋光激励的精密光栅测量方法与装置中,被测位移移动p/m对应干涉花瓣图案旋转一周2π,则干涉图案旋转1°对应的被测位移量为p/360m。与采用传统光源激励的精密测量光栅方法相比,光栅干涉传感信号自身实现了更高的光学细分倍数。同时,光栅干涉传感信号的电子细分方法,由相位插值变为圆周角度细分,圆周具有360°的自然基准,避免了光栅干涉传感信号质量对相位插值细分有效性的影响,从原理上提升了精密光栅测量的分辨力及精度。