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信息处理装置、程序和工艺条件搜索方法.pdf

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本发明提供信息处理装置、程序和工艺条件搜索方法,其使用半导体制造装置的机器学习模型,搜索能够达成作为目标的工艺结果的工艺条件。为了解决上述问题,信息处理装置生成依照工艺条件执行处理的半导体制造装置的机器学习模型,使用机器学习模型搜索能够达成作为目标的工艺结果的工艺条件,并包括:选择使用多个回归方法所生成的多个机器学习模型中的、适合于数据集的机器学习模型的模块;使用所选择的机器学习模型进行优化计算,计算多个工艺条件、工艺结果的预测值和预测值的可靠度的模块;根据工艺结果的预测值和预测值的可靠度,选择1个以上的工艺条件的模块;以及显示所选择的工艺条件、工艺结果的预测值和预测值的可靠度的模块。