用于原子力显微镜的探针损伤检测方法.pdf

本发明提供一种用于原子力显微镜的探针损伤检测方法,包括:1)提供一标准样品,所述标准样品的表面形成有特征尺寸的图形;2)选取探针并扫掠所述标准样品以获取所述探针跟随所述标准样品的表面起伏移动的轨迹;3)将探针的移动轨迹与所述标准样品的图形轮廓进行拟合以获取所述探针的质量水平;4)响应于所述探针的质量水平,判定是否更换用于测量待测样品的探针。本发明提供的本发明通过在量测同一批次的待测样品之前配置探针针尖的损伤检测方法,可以及时、有效地监测到探针针尖的磨损程度和使用寿命,确保测试的精度和重复性,避免测量过程中不必要的反复测量而影响测试的吞吐量。