一种微流控芯片微通道的多焦点超快激光制备装置及方法.pdf

本发明公开了一种微流控芯片微通道的多焦点超快激光制备装置及方法,利用阵列式多焦点飞秒激光,对微流控芯片进行飞秒激光点阵烧蚀,并且采用脉冲激光二次烧蚀,结合氢氟酸超声腐蚀对烧蚀后的微流控芯片进行处理得到微流控芯片的真三维微通道结构,实现了微流控芯片微通道的高效加工。本发明同时公开了微流控芯片微通道的多焦点超快激光制备装置。本发明具有高精度、高效率、高安全性和灵活性,以及大尺度的加工优点,可以广泛应用于生物、化学及医疗等领域具有重要的价值和意义,发展及应用前景广阔。