预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共15页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

本发明提供分段多极杆聚焦轴线同轴度检测方法,包括:S1、获取多极杆结构的入口端的场圆中心An的坐标(XAn,YAn,ZAn)及出口端的场圆中心Bn的坐标(XBn,YBn,ZBn);An表示第n个多极杆结构的入口端的场圆中心,Bn表示第n个多极杆结构的出口端的场圆中心;S2、根据(XAn,YAn,ZAn)、(XBn,YBn,ZBn)确定多极杆结构的聚焦轴线方程;S3、根据相邻两多极杆结构的聚焦轴线方程,以前级多极杆结构的轴线为中心线构造能包络后级多极杆结构的轴线的最小圆柱,并获取该圆柱体的直径dn,n+1;S4、获取分段多极杆的聚焦轴线同轴度d0=max{dn,n+1};其中,所述聚焦轴线方程为:本发明还提供一种同轴度检测装置。替代传统的通过测量多极杆的高度、水平距离来计算同轴度,可应用于平行多极杆及倾斜多极杆,应用范围广且方法简便。