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一种动力电池检测用氢气MEMS传感器及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种动力电池检测用氢气MEMS传感器及其制备方法,制备方法包括:将四氯化锡、包含氯化钯的掺杂金属盐、去离子水混匀,加入固化剂和分散剂搅拌,升温静置后得到气敏材料浆液;将硅片上的电极利用光刻胶保护,利用狭缝式涂布机将浆液涂覆在硅片表面得到覆膜的硅片;涂覆时,狭缝式涂布机的真空度≤1.33×10?2Pa,喷头移动速度为60?70mm/min,每个喷头喷口大小为5μm×1μm至5μm×2μm;涂覆后得到的气敏材料的膜厚为1?3μm;将覆膜后的硅片退火,降至室温,去除保护电极的光刻胶,切割、焊接、封装。本发明中制备的传感器检测氢气灵敏度高、响应时间短,能够满足动力电池检测中氢气的检测。