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本发明公开了一种废气纳米工艺处理装置,包括依次连接的雾化喷淋塔Ⅰ、雾化喷淋塔Ⅱ、雾化喷淋塔Ⅲ和过滤箱,过滤箱包括依次连接的雾化分解区、初效过滤网、除雾过滤棉和PM2.5高效过滤器。处理方法:(1)制备SiO2气凝胶,并利用硅烷偶联剂进行表面改性;(2)将改性后的SiO2气凝胶、分散剂和水进行混合,研磨,得到废气处理剂;(3)向雾化喷淋塔Ⅰ、雾化喷淋塔Ⅱ和雾化喷淋塔Ⅲ内分别加入废气处理剂;(4)将工业有机废气进行收集,依次通过雾化喷淋塔Ⅰ、雾化喷淋塔Ⅱ、雾化喷淋塔Ⅲ、雾化分解区、初效过滤网、除雾过滤棉和PM2.5高效过滤器,即可达标排放。本发明运行成本低,能耗低,处理效果好。