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一种基于偏振光栅的小角度差分检测模块和检测方法.pdf

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一种基于偏振光栅的小角度差分检测模块和检测方法,其特征在于,在检测光路上同时设置1/4波片和偏振光栅,利用1/4波片将线偏振光的旋光角转换为椭圆偏振光的椭圆率角,然后利用偏振光栅其+1级和?1级衍射光光强比值与入射光椭偏度相关的特性进行差分检测,有利于缩小检测装置的体积,为仪器小型化和芯片化应用奠定基础。