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本发明提供工件加工装置,能够对使用难加工材料形成的工件实现高加工速率,在短时间内稳定地进行加工。本发明的工件加工装置(1)是使加工头(14)与保持于保持板(20)的上表面的工件(W)滑动接触而进行加工的工件加工装置,其中,加工头(14)具有产生等离子体而将等离子体照射到工件(W)的被加工面的等离子体电极(30),等离子体电极(30)的设置于径向中心的环状或圆柱状的中心电极(31)和相对于中心电极(31)设置于径向外侧的环状的外周电极(32)在边界位置隔着环状的缝部(36)而配设,并且缝部(36)构成为等离子体产生空间,在中心电极(31)和外周电极(32)的底面设置有加工垫(40)。