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一种高精度平面度测量设备.pdf

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本实用新型公开了一种高精度平面度测量设备,包括安装平台、设置在所述安装平台上的支撑平台、移动机构和设置在所述移动机构上的测微计,所述测微计位于所述支撑平台上方,所述支撑平台底部设置有用于调节所述支撑平台水平度的调平机构。测微计用于测量待测产品的水平度,支撑平台用于对待测产品进行支撑,移动机构用于驱动测微计进行移动,进而实现对待测产品不通过位点上的平整度测量,保证测量的准确性。