内容提供者
一种硅片清洗机用干燥装置.pdf
2023-04-26
10金币
1.6MB
14页
康平****ng
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共14页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
一种硅片清洗机用干燥装置.pdf
本发明公开了硅片干燥技术领域的一种硅片清洗机用干燥装置,包括干燥箱,所述干燥箱内转动连接有安装座,所述安装座通过固定柱固定连接有固定环,所述安装座的上方设置有四个第一固定块;四个所述第一固定块的上方均设置有第二固定块,四个所述第二固定块均与固定环滑动连接,四个所述第一固定块和四个所述第二固定块共同固定连接有顶部开口的网兜,所述网兜呈倒方形台状,所述干燥箱内设置有顶出组件、第一驱动组件和第二驱动组件,所述顶出组件用于将干燥后的硅片向上顶出;所述第一驱动组件用于驱动安装座带动网兜转动干燥;所述第二驱动组件在第
2023-04-26
10
1.6MB
一种半导体硅片干燥装置及干燥方法.pdf
本发明提供一种半导体硅片干燥装置及干燥方法，用于去除半导体硅片表面清洗后以及半导体硅片深槽型结构内部的残留液体。半导体硅片干燥装置包括机械手臂传动装置，风刀以及压缩气体供应装置。风刀包括进风口和出风口，其出风口倾斜向下；机械手臂传动装置带动安装于其上的风刀运动至半导体硅片上方并使风刀的出风口与半导体硅片相对；压缩气体供应装置安装在机械手臂传动装置内部且与风刀的进风口连接以提供压缩气体。本发明可以有效去除半导体硅片表面清洗后残余液体，另一方面更能够同时清除半导体硅片深槽型结构内部的残留液体。
2023-11-25
10
907KB
一种清洗机真空干燥装置.pdf
本发明公开了一种清洗机真空干燥装置,包括清洗平台，清洗平台底侧的两端对称设置有支撑柱，支撑柱的底端设置有稳定基座，清洗平台顶端的一侧设置有清洗室，清洗室内部的顶端安装有清洗喷头，清洗喷头与清洗室的连接处设置有电动阀门，清洗喷头通过电动阀门与外置水龙头连通，清洗室的顶端设置有顶盖，清洗室与顶盖的连接处设置有密封垫，清洗室内部的中部设置有传送带，传送带的外侧安装有清洗网，传送带内侧的两端设置有齿轮，本发明便于对黄花菜进行充分清洗，方便快捷，便于节省一定的人力物力，同时便于对清洗后的黄花菜进行滤水，以及通过对污
2023-08-29
10
349KB
一种清洗机真空干燥装置.pdf
本发明公开了一种清洗机真空干燥装置，包括壳体，所述壳体中固定连接设置有安置网，所述壳体一侧下部连通设置有真空泵，所述壳体上端装配连接设置有上盖，所述上盖中通过轴承套转动连接设置有多组扇叶，所述扇叶阵列设置在转轴末端外围，所述转轴远离扇叶的末端贯穿所述安置网，且转轴末端外围固定连接设置有多组刷杆，所述刷杆和所述安置网下表面活动贴合，所述上盖上端和轴承套相对连通设置有限压机构。本发明真空泵启动后，壳体内压降低，通过轴承套带动扇叶转动，从而在吹风干燥物料时同步带动转轴转动，利用刷杆清刷安置网下表面，克服水体因张
2023-11-12
10
599KB
一种清洗机真空干燥装置.pdf
本发明公开了一种清洗机真空干燥装置,包括清洗平台，清洗平台底侧的两端对称设置有支撑柱，支撑柱的底端设置有稳定基座，清洗平台顶端的一侧设置有清洗室，清洗室内部的顶端安装有清洗喷头，清洗喷头与清洗室的连接处设置有电动阀门，清洗喷头通过电动阀门与外置水龙头连通，清洗室的顶端设置有顶盖，清洗室与顶盖的连接处设置有密封垫，清洗室内部的中部设置有传送带，传送带的外侧安装有清洗网，传送带内侧的两端设置有齿轮，本发明便于对黄花菜进行充分清洗，方便快捷，便于节省一定的人力物力，同时便于对清洗后的黄花菜进行滤水，以及通过对污
2023-08-29
10
273KB