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一种多晶硅异常监测方法、装置及相关设备.pdf

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本申请提供一种多晶硅异常监测方法、装置及相关设备,其中,所述方法包括:获取第一监控图像,其中,所述第一监控图像包括第一位置的图像,所述第一位置为反应炉内用于放置硅棒的位置;对所述第一监控图像进行图像分析,获得多个候选点;将所述多个候选点中对应的像素坐标位于预设区间内的像素点确定为异常点,其中,所述预设区间用于指示第一位置,所述异常点用于指示硅棒亮点;在所述第一监控图像上标记所述异常点。先通过图像分析的方式,从第一监控图像中获取像素值异常的多个候选点;再通过坐标匹配的方式,将位于预设区间的候选点确定为异常点,以替代人工巡检的监控方式,提升对硅棒亮点的监测效果。