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一种基于MEMS光纤传感器的GIS绝缘气体健康状态检测方法,属于检测领域。首先使用MEMS光纤传感器得到各个GIS气仓中SF6的基准值;然后对各个GIS气仓中的SF6状态参数进行实时检测,得到实时工作值;将实时工作值与基准值分别一一对应,并进行“差”运算,实现各项状态参数的“纵向比较”;得到与差值对应的各项SF6状态参数的变化量;对不同GIS设备之间或同一GIS设备的不同气仓之间,同一SF6状态参数的变化量进行“横向比较”,得到出现异常的设备气仓或间隔。其针对GIS绝缘气体的健康状态进行故障预警,能够实现GIS设备的运行健康状态监测。并通过检测气体组分判断气体绝缘性能与灭弧性能是否达标。