用于光相干层析成像的色散校正处理方法及电子设备.pdf
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本发明涉及一种用于工业检测的谱域光学相干层析成像检测方法及系统,其中系统用于实现如下步骤:S1、搭建谱域光学相干层析成像检测系统;S2、对谱域光学相干层析成像检测系统进行畸变校准;S3、将待测样品放置到样品承载单元上;S4、样品承载单元带动待测样品移动,并且谱域光学相干层析成像单元对待测样品进行扫描并获取待测样品的3D原始层析信号;S5、图像处理单元对3D原始层析信号进行数据处理,获得待测样品的光学相干层析3D图像;S6、缺陷分类单元对光学相干层析3D图像进行分析并输出检测结果。本发明通过计算机后期处理消