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本实用新型公开了一种真空变压吸附制氧设备,涉及制氧技术领域。包括基座,所述基座上依次安装有罗茨鼓风机、前端冷却器、第一锂型分子筛吸附塔、第二锂型分子筛吸附塔、PLC控制器、湿式罗茨真空泵、氧气缓冲罐及后端冷却器,所述罗茨鼓风机的进风口通过管道连接有初效空气过滤器。该真空变压吸附制氧设备,以空气为原料,经初效空气过滤器过滤后进入罗茨鼓风机升压,而后冷却、吸附,制取的富氧在缓冲调节之后,通过后端冷却器和抗菌型高效空气过滤器进行二次冷却、过滤,再送至用氧用户,二次的空气过滤和冷却可使氧气的质量提高,以获得相对标准的洁净氧气,从而保障制氧纯度,大大增加了该真空变压吸附制氧设备的实用性。