预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/9
2/9
3/9
4/9
5/9
6/9
7/9
8/9
9/9

在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

本申请涉及半导体生产自动化设备的技术领域,尤其是公开了不良品收料装置,包括排料轨,一端为进料端、另一端为出料端;料架,设置于所述出料端的一侧且内置设有若干竖向堆叠的料管;主吹气嘴,设置于所述进料端,所述主吹气嘴的出气方向朝向所述出料端,用以驱使芯片沿所述进料端到所述出料端的方向滑动;以及升降机构,与所述料架相连,所述升降机构被配置于驱使所述料管竖向升降,使得任一所述料管与所述出料端连通。本申请通过主吹气嘴输出气流,当外界设备将不良芯片转移至进料端时,气流驱使芯片朝向出料端滑动,进入料管内,对不良芯片进行收集和归整。