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一种多模式切换的1×3光开关.pdf

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本实用新型公开了一种多模式切换的1×3光开关。在衬底设置五根平行的条形直波导,其中三根为Si波导,两根为相变材料薄膜和Si复合的波导,形成单直波导区域、上行耦合波导区域和下行耦合波导区域;开关单元由覆盖在光开关耦合区域波导之上的相变材料薄膜控制,通过切换相变薄膜的相态可对输入的电磁场基模,由三根条形波导分别进行基模、一阶模和二阶模的三路选通及模式切换,实现模式分离和复用的光开关切换功能。本实用新型具有模式选通、集成度高、体积小和切换速率高等特点。