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本发明的课题在于提供一种能够抑制剥离时的薄膜断裂不良及薄膜表面粗糙的薄膜及其制造方法、以及使用上述薄膜的层叠体。提供一种介质损耗角正切为0.01以下,至少一个表面上的表面自由能为15mN/m~36mN/m的薄膜或介质损耗角正切为0.01以下,至少一个表面上的基于选自包括含氟原子的化合物及含硅原子的化合物的组中的至少1种化合物的表面包覆率为30%~100%薄膜及它们的制造方法、以及使用上述薄膜的层叠体。