一种晶圆透镜模组.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110808259A(43)申请公布日2020.02.18(21)申请号201911166094.9(22)申请日2019.11.25(71)申请人华天慧创科技（西安）有限公司地址710018陕西省西安市经济技术开发区凤城五路123号(72)发明人王林李菲周浩(51)Int.Cl.H01L27/146(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种晶圆透镜模组(57)摘要本发明提供一种晶圆透镜模组，包括自上而下设置的至少一个微透镜、玻璃晶圆基底、光学胶膜、至少一个图像传感器，微透镜与图像传感器位置对应，微透镜设置在玻璃晶圆基底上，光学胶膜设置在玻璃晶圆基底与图像传感器之间；其特征在于，还包括至少一残留层，残留层形成于透镜与玻璃晶圆基底之间，在玻璃晶圆基底的下表面与光学胶膜之间形成镀膜界面一，在玻璃晶圆基底上表面与残留层之间形成镀膜界面二。本发明根据成像的实际需要，可灵活选择不同的膜层组合，各膜层组合具有各自的优点，通过在残留层上制作膜层，膜层附着力大大提高，解决制程造成的模组牢固度不足的问题。CN110808259ACN110808259A权利要求书1/1页1.一种晶圆透镜模组，包括自上而下设置的至少一个微透镜、玻璃晶圆基底、光学胶膜、至少一个图像传感器，微透镜与图像传感器位置对应，微透镜设置在玻璃晶圆基底上，光学胶膜设置在玻璃晶圆基底与图像传感器之间；其特征在于，还包括至少一残留层，残留层形成于透镜与玻璃晶圆基底之间，在玻璃晶圆基底的下表面与光学胶膜之间形成镀膜界面一，在玻璃晶圆基底上表面与残留层之间形成镀膜界面二。2.一种晶圆透镜模组，包括自上而下设置的至少一个微透镜、至少一个图像传感器，微透镜与图像传感器位置对应，其特征在于，还包括残留层一和残留层二，残留层一形成于图像传感器上方，残留层二形成于残留层一上方，在图像传感器与残留层一之间形成镀膜界面一，在残留层一与残留层二之间形成镀膜界面二。3.根据权利要求2所述的一种晶圆透镜模组，其特征在于，还包括残留层三，残留层三形成于残留层二上方，在残留层一与残留层二之间形成镀膜界面一，在残留层二与残留层三之间形成镀膜界面二。4.根据权利要求1-3任一项所述的一种晶圆透镜模组，其特征在于，镀膜界面一镀制IR红外截止滤光膜，镀膜界面二镀制光阑。5.根据权利要求1-3任一项所述的一种晶圆透镜模组，其特征在于，镀膜界面一镀制IR红外截止滤光膜和光阑，镀膜界面二镀制IR红外截止滤光膜。6.根据权利要求1-3任一项所述的一种晶圆透镜模组，其特征在于，镀膜界面一镀制IR红外截止滤光膜和光阑，镀膜界面二镀制光阑。7.根据权利要求1-3任一项所述的一种晶圆透镜模组，其特征在于，镀膜界面一镀制IR红外截止滤光膜、AR增透膜，镀膜界面二镀制光阑。8.根据权利要求1-3任一项所述的一种晶圆透镜模组，其特征在于，镀膜界面一镀制IR红外截止滤光膜、AR增透膜和光阑，镀膜界面二镀制IR红外截止滤光膜和AR增透膜。9.根据权利要求1-3任一项所述的一种晶圆透镜模组，其特征在于，镀膜界面一镀制IR红外截止滤光膜、AR增透膜和光阑，镀膜界面二镀制光阑。10.根据权利要求1-3任一项所述的一种晶圆透镜模组，其特征在于，镀膜界面一与镀膜界面二分别镀制相同的以下膜层或膜层组合：(a)IR红外截止滤光膜和光阑；(b)IR红外截止滤光膜和AR增透膜；(c)光阑；(d)IR红外截止滤光膜、AR增透膜和光阑。2CN110808259A说明书1/4页一种晶圆透镜模组技术领域[0001]本发明涉及光学技术领域，尤其涉及一种晶圆透镜模组。背景技术[0002]随着智能手机、安防、汽车电子等市场对摄像头采购需求量的提升，摄像头行业发生了爆炸式的升级，市场对摄像头提出了更高的要求，摄像头微型化的趋势，使晶圆级光学镜头（WLO）备受瞩目。[0003]由于晶圆级光学镜头中的玻璃晶圆透光，为提高所需波长的光线通过镜头光学区，降低镜头的反射率，同时过滤掉杂光，通常采用镀制增反、减反膜的方法，现有的镀膜方式是在玻璃晶圆基底上下两个面分别镀制光阑孔径和IR红外截止滤光膜，镀层形式较为单一并且会限制所需波段光的透过率；并且存在镀层与晶圆基底的附着力不高，镀层易脱落的问题。发明内容[0004]为了解决现有技术中存在的上述问题，本发明采用如下技术手段：第一方面，本发明提供一种晶圆透镜模组，包括自上而下设置的至少一个微透镜、玻璃晶圆基底、光学胶膜、至少一个图像传感器，微透镜与图像传感器位置对应，微透镜设置在玻璃晶圆基底上，光学胶膜设置在玻璃晶圆基底与图像传感器之间；还包括至少一残留层，残留层形成于透镜与玻璃晶圆基底之间，在玻璃晶圆基底的下表面与光学胶膜之间形成镀膜