一种晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111952209A(43)申请公布日2020.11.17(21)申请号201910397869.7(22)申请日2019.05.14(71)申请人沈阳芯源微电子设备股份有限公司地址110168辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号(72)发明人彭博李檀(74)专利代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司21002代理人白振宇(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书3页附图2页(54)发明名称一种晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴(57)摘要本发明属于晶圆清洗领域，具体地说是一种晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，喷嘴内芯上开设有液体通道，液体由液体通道的一端进入、由位于另一端的喷液口喷出；喷嘴内芯的一端插设于喷嘴外壳中，喷嘴外壳的一端与喷嘴内芯连接，另一端内部连接有喷嘴内塞，喷嘴内塞位于喷嘴外壳与喷嘴内芯之间；喷嘴内塞和喷嘴内芯之间以及喷嘴内塞和喷嘴外壳之间均留有供惰性气体流通的空间，喷嘴外壳上分别开设有与两个空间相连通的惰性气体进气口，喷嘴内塞上开设有布风孔，两个空间通过布风孔连通，两个空间内的惰性气体在布风孔内侧汇合。本发明通过改变惰性气体旋转方向及惰性气体加速度，同时配合清洗化学液流量，既对晶圆损伤小，又可以高效清洗晶圆。CN111952209ACN111952209A权利要求书1/2页1.一种晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：包括喷嘴内芯(1)、喷嘴外壳(8)及喷嘴内塞(11)，其中喷嘴内芯(1)上开设有液体通道(6)，液体由该液体通道(6)的一端进入、由位于另一端的喷液口(12)喷出；所述喷嘴内芯(1)的一端插设于喷嘴外壳(8)中，该喷嘴外壳(8)的一端与所述喷嘴内芯(1)连接，另一端内部连接有喷嘴内塞(11)，所述喷嘴内塞(11)位于喷嘴外壳(8)与喷嘴内芯(1)之间；所述喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间以及喷嘴内塞(11)和喷嘴外壳(8)之间均留有供惰性气体流通的空间，该喷嘴外壳(8)上分别开设有与喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间的空间以及与喷嘴内塞(11)和喷嘴外壳(8)之间的空间相连通的惰性气体进气口，所述喷嘴内塞(11)上开设有布风孔(7)，喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间的空间与喷嘴内塞(11)和喷嘴外壳(8)之间的空间通过该布风孔(7)连通，喷嘴内塞(11)和喷嘴外壳(8)之间的空间内的惰性气体通过所述布风孔(7)呈旋转状向喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间的空间内进气，与喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间的空间内的惰性气体汇合后，由所述喷液口(12)外围的惰性气体出口(13)喷出，对由所述喷液口(12)喷出的液体雾化，晶圆表面通过被雾化后的液体进行清洗。2.根据权利要求1所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：所述喷嘴内塞(11)上的布风孔(7)为多个，沿圆周方向均布，每个布风孔(7)均呈“L”形，该“L”形的竖边沿所述喷嘴内塞(11)的轴向开设，“L”形的横边沿喷嘴内塞(11)的径向开设，且该“L”形的横边倾斜于“L”形的竖边。3.根据权利要求2所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：各所述布风孔(7)的“L”形横边的倾斜方向均相同，所述喷嘴内塞(11)和喷嘴外壳(8)之间的空间内的惰性气体以顺时针旋转或逆时针旋转向喷嘴内塞(11)和喷嘴内芯(1)之间的空间内进气。4.根据权利要求1所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：所述喷嘴内塞(11)与喷嘴内芯(1)之间的空间的上部为惰性气体垂直加速区间(9)、下部为位于布风孔(7)内侧的汇合空间(14)，中间为过渡段。5.根据权利要求4所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：所述惰性气体垂直加速区间(9)及汇合空间(14)均为圆柱状，所述过渡段为锥台状，该汇合空间(14)的内径大于所述惰性气体垂直加速区间(9)的内径；所述惰性气体出口(13)位于汇合空间(14)的下方，并环绕于所述喷液口(12)的外围。6.根据权利要求4所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：所述喷嘴外壳(8)上沿径向开设有惰性气体进气口A(3)，该惰性气体进气口A(3)与所述惰性气体垂直加速区间(9)的上部相连通。7.根据权利要求1所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：所述喷嘴内塞(11)的一端与喷嘴外壳(8)另一端的内部螺纹连接或过盈配合，该喷嘴内塞(11)的另一端沿圆周方向均布有多个布风孔(7)。8.根据权利要求1所述的晶圆表面颗粒清洗单旋喷嘴，其特征在于：所述喷嘴外壳(8)与喷嘴内塞(11)之间的空间为惰性气体旋转环腔(5)，该惰性气体旋转环腔(5)环绕于所述喷嘴内塞(11)的外围；所述喷嘴外壳(8)上沿径向开设有惰性气体进气口B(10)，该惰性气体进