一种三轴爪型真空泵.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101985937A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN101985937A(43)申请公布日2011.03.16(21)申请号201010565664.4(22)申请日2010.11.30(71)申请人东北大学地址110819辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号申请人中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司(72)发明人巴德纯刘坤岳向吉张振厚王光玉(74)专利代理机构沈阳东大专利代理有限公司21109代理人崔兰莳(51)Int.Cl.F04C25/02(2006.01)F04C18/14(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称一种三轴爪型真空泵(57)摘要本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种三轴爪型真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子，爪型转子组之间用隔板隔开，所述的主轴两侧均设有一根装配爪型转子和从动齿轮的从动轴。不仅提高了泵的工作效率和抽气效率，还增强了泵工作的稳定性。CN1098537ACN101985937A权利要求书1/1页1.一种三轴爪型真空泵，包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子，爪型转子组之间用隔板隔开，其特征在于所述的主轴两侧均设有一根装配爪型转子和从动齿轮的从动轴。2.如权利要求1所述的一种三轴爪型真空泵，其特征在于所述的爪型转子的爪数为二爪、四爪、六爪或八爪。3.如权利要求1所述的一种三轴爪型真空泵，其特征在于所述的主轴和两根从动轴在同一横截面上的中心连线为直线或三角形。4.权利要求1所述的一种三轴爪型真空泵，其特征在于所述的爪型转子级数为1级～6级。5.权利要求4所述的一种三轴爪型真空泵，其特征在于所述的爪型转子级数为2级～6级时，相邻两级之间用隔板隔开。2CN101985937A说明书1/2页一种三轴爪型真空泵技术领域[0001]本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种三轴爪型真空泵。背景技术[0002]真空泵是半导体工业中芯片、光学通讯元器件及平板显示器等加工工艺关键设备之一。作为获取中高真空的无油分子泵、低温泵等得到了广泛的应用。但是，与这些干式中高真空泵相配合的前级低真空泵却大多是传统的油封式真空泵，为降低油污染，通常在中高真空泵与低真空泵之间串接入冷阱，但此方法已经不能满足真空环境洁净度的要求。而目前的爪型干式真空泵均为两轴式，一根主轴带动一根从动轴，不仅抽气效率低，而且动平衡性能差。发明内容[0003]针对目前爪型干式真空泵所存在的问题，本发明提供一种三轴爪型真空泵，解决爪型干式真空泵抽气效率低和动平衡性能差的问题。[0004]本发明的三轴爪型真空泵，包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有相互啮合的爪型转子，爪型转子组之间用隔板隔开，要点在于所述的主轴两侧均设有一根装配爪型转子和从动齿轮的从动轴。[0005]所述的爪型转子的爪数为二爪、四爪、六爪或八爪。[0006]所述的主轴和两根从动轴在同一横截面上的中心连线为直线或三角形。[0007]所述的爪型转子级数为1级～6级。[0008]所述的爪型转子级数为2级～6级时，相邻两级之间用隔板隔开。[0009]本发明与现有技术相比较显著的特点和产生的有益效果是：在主轴一侧增加了一根用于装配爪型转子和从动齿轮的从动轴，不仅提高了泵的工作效率和抽气效率，还增强了泵工作稳定性，降低了泵运转时的振动和噪声。[0010]附图说明[0011]图1为本发明的结构示意图；图2为转子横截面中心连线呈三角形布置的结构示意图；图中：1电机、2联轴器、3主轴、4主动齿轮、5右从动齿轮、6右从动轴、7右从动转子、8主动转子、9隔板、10左从动转子、11左从动轴、12左从动齿轮、13排气口、14进气腔、15排气腔、16电机架、17泵体、18轴承端盖、19保护罩、20排气轴承座、21进气轴承座、22齿轮箱、23上轴承、24下轴承。3CN101985937A说明书2/2页具体实施方式[0012]下面结合附图对本发明做进一步说明。[0013]例1.本发明一种三轴爪型真空泵，由电机1通过联轴器2与主轴3相连接，主动齿轮4，左从动齿轮12和右从动齿轮5通过键连接分别装配在主轴3、左从动轴11和右从动轴6上，三根轴呈平行布置，中间的主轴3由电机1驱动，在三个同步齿轮带动下，三根轴作彼此反向的旋转运动。在主轴3，左从动轴11和右从动轴6上均固定有4级二爪的爪型转子，爪型转子通过键连接分别固定在三根轴上；在主轴3，左从动轴11和右从动轴6两端的轴肩处均装配有轴承，上轴承23固