双面抛光装置及其托架.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102473624102473624B(45)授权公告日2014.12.31(21)申请号201080037005.1(56)对比文件CN101128920A,2008.02.20,说明书(22)申请日2010.03.16第3段至第10段，图1-4.(30)优先权数据CN101128920A,2008.02.20,说明书10-2009-00775252009.08.21KR第3段至第10段，图1-4.(85)PCT国际申请进入国家阶段日US2004/0235402A1,2004.11.25,说明书第2012.02.21[0016]-[0029]段，图1-6.(86)PCT国际申请的申请数据CN1993206A,2007.07.04,全文.PCT/KR2010/0016142010.03.16CN101264585A,2008.09.17,全文.(87)PCT国际申请的公布数据审查员谢添WO2011/021762EN2011.02.24(73)专利权人LG矽得荣株式会社地址韩国庆尚北道(72)发明人李致福曹喜敦(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240代理人余刚吴孟秋(51)Int.Cl.H01L21/304(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书7页说明书7页附图6页附图6页(54)发明名称双面抛光装置及其托架(57)摘要一种双面抛光装置，包括：用于抛光晶片的双面的上抛光板和下抛光板；多个托架，每个托架包括中央板和周边板，中央板具有安装晶片的安装孔，周边板具有装配中央板的装配孔以及沿着周边板的外周界形成的齿轮部件，安装孔的中心与中央板的中心偏离，装配孔的中心与周边板的中心偏离；以及与齿轮部件接合以将旋转力传递至多个托架的中心齿轮和内齿轮，其中，中央板装入装配孔内的装配方向可针对多个托架中的至少两个托架进行调节。CN102473624BCN1024736BCN102473624B权利要求书1/2页1.一种双面抛光装置，包括：上抛光板和下抛光板，用于抛光晶片的双面；多个托架，每个托架包括一个中央板和一个周边板，所述中央板具有安装晶片的安装孔，所述周边板具有装配所述中央板的装配孔以及沿着所述周边板的外周界形成的齿轮部件，所述安装孔的中心偏离所述中央板的中心，所述装配孔的中心偏离所述周边板的中心；以及中心齿轮和内齿轮，与所述周边板的齿轮部件接合以将旋转力传递至所述多个托架，其中，对于所述多个托架中的至少两个托架而言，通过改变所述中央板在所述装配孔内的装配方向，能够调节所述安装孔的中心距所述周边板的中心的偏心距离。2.根据权利要求1所述的双面抛光装置，其中，所述中央板的外周界具有多个突出部，以及其中，所述周边板的装配孔具有与所述突出部相对应的凹槽，以使所述突出部与相应的凹槽相配合地接合。3.根据权利要求2所述的双面抛光装置，其中，所述突出部和所述凹槽具有彼此对应的台阶。4.根据权利要求2所述的双面抛光装置，其中，所述突出部或所述凹槽具有能辨别的指示物。5.根据权利要求1所述的双面抛光装置，其中，所述周边板由刚度相对高于所述中央板的材料制成。6.根据权利要求5所述的双面抛光装置，其中，所述中央板由环氧玻璃材料制成。7.根据权利要求5所述的双面抛光装置，其中，所述周边板由选自由SUS、SUSDLC和金属组成的组中的至少一种材料制成。8.根据权利要求1所述的双面抛光装置，其中，所述中央板或所述周边板具有至少一个浆液孔。9.一种双面抛光装置，包括：上抛光板和下抛光板，用于抛光晶片的双面；多个托架，每个托架具有安装晶片的安装孔以及沿着所述托架的外周界形成的齿轮部件；以及中心齿轮和内齿轮，与所述齿轮部件接合以将旋转力传递至所述多个托架，其中，在所述多个托架中，至少两个托架具有的安装孔的中心与所述托架的中心偏离不同的距离。10.一种用于双面抛光装置的托架，所述托架安装在所述双面抛光装置中的上抛光板与下抛光板之间并通过中心齿轮和内齿轮旋转，所述托架包括：中央板，具有安装晶片的安装孔；以及周边板，具有装配所述中央板的装配孔以及与所述中心齿轮和所述内齿轮接合并沿着所述周边板的外周界形成的齿轮部件，其中，所述安装孔的中心偏离所述中央板的中心，且所述装配孔的中心偏离所述周边板的中心，并且其中，通过改变所述中央板在所述装配孔内的装配方向，能够调节所述安装孔的中心2CN102473624B权利要求书2/2页距所述周边板的中心的偏心距离。11.根据权利要求10所述的用于双面抛光装置的托架，其中，所述中央板的外周界具有多个突出部，以及其中，所述周边板的装配孔具有与所述突出部相对应的凹槽，以使所述突出部与相应的凹槽相