一种单晶硅棒加工装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109483749A(43)申请公布日2019.03.19(21)申请号201811599880.3(22)申请日2018.12.26(71)申请人福州天瑞线锯科技有限公司地址350100福建省福州市闽侯县甘蔗街道南兴路6号(72)发明人朱文志李波汤文博蓝碧峰范舒彬林孝狮黄田玉林光展(74)专利代理机构福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)35219代理人林祥翔张忠波(51)Int.Cl.B28D5/04(2006.01)B28D7/04(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图10页(54)发明名称一种单晶硅棒加工装置(57)摘要本发明公开了一种单晶硅棒加工装置，包括滚轮支撑机构、装夹机构及线锯运行机构；滚轮支撑机构包括安装座及第一滚轮座，第一滚轮座可轴向移动地设置于安装座上，第一滚轮座的各个滚轮之间开设有切割线让位槽；装夹机构包括第一定位及取片机构、第一浮动支撑机构及夹持机构；第一定位及取片机构包括真空吸盘，真空吸盘位于滚轮支撑机构上方；夹持机构包括夹爪机构及第一轴向移动驱动机构；第一轴向移动驱动机构用于驱动夹爪机构轴向移动；第一浮动支撑机构包括支撑机构及第二轴向移动驱动机构，第二轴向移动驱动机构用于驱动支撑机构轴向移动；线锯运行机构设置包括第一线锯切割机构。本发明具有加工精度高的优点。CN109483749ACN109483749A权利要求书1/2页1.一种单晶硅棒加工装置，其特征在于，包括滚轮支撑机构、装夹机构及线锯运行机构；所述滚轮支撑机构包括安装座及第一滚轮座，所述第一滚轮座可轴向移动地设置于安装座上，第一滚轮座的各个滚轮之间开设有切割线让位槽；所述装夹机构包括第一定位及取片机构、第一浮动支撑机构及夹持机构；所述第一定位及取片机构包括真空吸盘，所述真空吸盘位于滚轮支撑机构上方，且位于夹持机构的一侧处，用于吸紧单晶硅棒的端面；所述夹持机构包括夹爪机构及第一轴向移动驱动机构；所述夹爪机构用于夹持单晶硅棒；所述第一轴向移动驱动机构与夹爪机构连接，用于驱动夹爪机构沿着滚轮支撑机构轴向移动；所述第一浮动支撑机构包括支撑机构及第二轴向移动驱动机构，所述支撑机构设置于第一定位及取片机构和夹持机构之间，用于支撑单晶硅棒的端部；所述第二轴向移动驱动机构与支撑机构连接，用于驱动支撑机构轴向移动；所述线锯运行机构设置包括第一线锯切割机构，所述第一线锯切割机构可上下移动地设置于滚轮支撑机构上方，用于切割单晶硅棒。2.根据权利要求1所述的单晶硅棒加工装置，其特征在于，所述装夹机构还包括第二定位及取片机构、第二浮动支撑机构；所述第二定位及取片机构与第一定位及取片机构的结构一致，第二定位及取片机构的真空吸盘位于滚轮支撑机构上方，且位于夹持机构未设置有第一定位及取片机构的一侧处；第二浮动支撑机构与第一浮动支撑机构的结构一致，第二浮动支撑机构的支撑机构设置于第二定位及取片机构和夹持机构之间；第二浮动支撑机构的第二轴向移动驱动机构与第二浮动支撑机构的支撑机构连接；所述滚轮支撑机构还包括第二滚轮座；所述第二滚轮座与第一滚轮座同轴向固定设置于安装座上，且第二滚轮座的各个滚轮之间开设有切割线让位槽；所述线锯运行机构还包括第二线锯切割机构，所述第二线锯切割机构可上下移动地设置于第二滚轮座的上方，且第二线锯切割机构的切割线与第二滚轮座的一切割线让位槽正对设置；所述第一线锯切割机构位于第一滚轮座上方，且可相对第二线锯切割机构轴向移动。3.根据权利要求2所述的单晶硅棒加工装置，其特征在于，所述线锯运行机构还包括线锯安装架及第三轴向移动驱动机构；所述线锯安装架位于滚轮支撑机构的一侧；线锯安装架设置有第一直线滑轨，所述第一直线滑轨轴向设置；所述第一线锯切割机构设置有与第一直线滑轨相适配的第一滑块，第一线锯切割机构通过第一滑块可滑动地与线锯安装架连接；所述第三轴向移动驱动机构与第一线锯切割机构连接，用于驱动第一线锯切割机构轴向移动；所述第二线锯切割机构相对第一线锯切割机构设置于线锯安装架处。4.根据权利要求1所述的单晶硅棒加工装置，其特征在于，所述安装座轴向设置有第二直线滑轨；所述第一定位及取片机构还包括真空吸盘支架，所述真空吸盘与真空吸盘支架连接，所述第一浮动支撑机构还包括支撑机构支架，所述支撑机构与支撑机构支架连接，所述夹持机构还包括夹爪机构支架，所述夹爪机构与夹爪机构支架连接；所述真空吸盘支架、支撑机构支架及夹爪机构支架均设置有与第二直线滑轨相适配的滑槽，并均通过滑槽可轴向滑2CN109483749A权利要求书2/2页动地与安装座连接。5.根据权利要求4所述的单晶硅棒加工装置，其特征在于，所述安装座轴向设置有齿条；所述第一轴向移动驱动机构及第二轴向移动驱动机构均为伺服电机，且伺服电机