宽度可调式移动机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110581097A(43)申请公布日2019.12.17(21)申请号201810582656.7(22)申请日2018.06.07(71)申请人佳宸科技有限公司地址中国台湾新北市(72)发明人蔡韶庭王森泰(74)专利代理机构北京维澳专利代理有限公司11252代理人王立民张应(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图9页(54)发明名称宽度可调式移动机构(57)摘要本发明在于提供一种能避免在移动时碰撞到晶圆的宽度可调式移动机构。其技术手段：为能配合晶圆生产设备应用，其中，宽度可调式移动机构包括有一具有垂直部及水平部的座体；一设于水平部表面边缘上的导轨；一设于导轨顶侧面一端的第一托臂组；一设置于导轨顶侧面另一端的第二托臂组；一设于垂直部前侧面一端的被动轮；一设置于垂直部前侧面另一端的主动轮；一环状绕设于被动和主动轮外，并形成顶、底侧区段的挠性带体；以及一与主动轮轴接的驱动装置；顶侧区段与第一托臂组连接，底侧区段与第二托臂组连接，而驱动装置能带动挠性带体，使第一、二托臂组同步连动，往相反方向移动用。CN110581097ACN110581097A权利要求书1/2页1.一种宽度可调式移动机构，能配合晶圆生产设备应用，其特征在于：所述宽度可调式移动机构(100)，包括有一座体(1)，其具有一侧相互交接的一垂直部(11)、及一水平部(12)；一导轨(2)，其设于该水平部(12)表面边缘上；一第一托臂组(3)，其设于该导轨(2)顶侧面一端；一第二托臂组(4)，其设置于该导轨(2)顶侧面另一端，能配合该第一托臂组(3)，一同吸附定位住晶圆(10)，以稳定托载该晶圆(10)；一被动轮(5)，其设于该垂直部(11)前侧面一端；一主动轮(6)，其设置于该垂直部(11)前侧面另一端；一挠性带体(7)，其呈环状绕设于该被动轮(5)和该主动轮(6)外，并形成一顶侧区段(71)与一底侧区段(72)，且该顶侧区段(71)与该第一托臂组(3)连接，而该底侧区段(72)与该第二托臂组(4)连接，以构成连动关系；以及一驱动装置(8)，其与该主动轮(6)轴接，能供带动该挠性带体(7)，使该第一托臂组(3)与该第二托臂组(4)同步连动，往相反方向移动用。2.根据权利要求1所述的宽度可调式移动机构，其特征在于，所述第一托臂组(3)，其还包括有依序由下往上堆栈设置的一能与该导轨(2)配合的滑座(A)、一设于该滑座(A)顶端的支撑块(B)、一设于该支撑块(B)顶端并能与该挠性带体(7)配合的连接板(C)、一设于该连接板(C)顶端的气座(D)、一片一端设于该气座(D)顶端的托臂板(E)、以及一设于该气座(D)与该托臂板(E)间的密封圈(F)；所述第二托臂组(4)，其还包括有依序由下往上堆栈设置的一能与该导轨(2)配合的滑座(A)、一设于该滑座(A)顶端并能与该挠性带体(7)配合的连接板(C)、一设于该连接板(C)顶端的支撑块(B)、一设于该连接板(C)顶端的气座(D)、一片一端设于该气座(D)顶端的托臂板(E)、以及一设于该气座(D)与该托臂板(E)间的密封圈(F)。3.根据权利要求2所述的宽度可调式移动机构，其特征在于，所述挠性带体(7)，其是为一皮带或链条结构。4.根据权利要求3所述的宽度可调式移动机构，其特征在于，所述连接板(C)，其与该挠性带体(7)连接处，还设有一能供容纳该挠性带体(7)对应部分的沟槽(C1)，而该沟槽(C1)的顶端开口处，还设有一能与该挠性带体(7)配合的定位片体(C2)；所述气座(D)，其还设有一设于该气座(D)顶端且对应于该密封圈(F)的气孔(D1)、一设于该气座(D)内且能让该气孔(D1)与外部真空泵连通的通气道(D2)、以及一与该托臂板(E)一端配合的定位凹槽(D3)；所述托臂板(E)，其还包括有一由固定端往外呈由宽变窄状设置的托臂本体(E1)、及一嵌设于该托臂本体(E1)底端面的封闭片体(E2)，该托臂本体(E1)自由端设有一吸气定位孔(E11)，而该托臂本体(E1)内设有一由该吸气定位孔(E11)处，延伸设置至对应于该气孔(D1)处的通气槽(E12)，另该托臂本体(E1)与该封闭片体(E2)嵌合处，还凹设有一与该通气槽(E12)连通的嵌槽(E121)，该封闭片体(E2)对应于该气孔(D1)处，还设有一通道孔(E21)。5.根据权利要求4所述的宽度可调式移动机构，其特征在于，所述托臂板(E)，其于该吸气定位孔(E11)处，还开设有一与该吸气定位孔(E11)连通的定位吸气槽(E111)。6.根据权利要求5所述的宽度可调式移动机构，其特征在于，所述托臂板(E)，其于对应2CN110581097A权利要求书2/2页于该