一种手动晶圆贴膜机.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115588642A(43)申请公布日2023.01.10(21)申请号202211362951.4(22)申请日2022.11.02(71)申请人上海宏轶电子科技有限公司地址201600上海市松江区中山西路174号2幢1201室(72)发明人黄运军(74)专利代理机构上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)31297专利代理师孙路生(51)Int.Cl.H01L21/683(2006.01)H01L21/687(2006.01)H01L21/67(2006.01)B26D1/08(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图4页(54)发明名称一种手动晶圆贴膜机(57)摘要本发明提供一种手动晶圆贴膜机，包括机壳，所述机壳在长度方向上的中间位置活动连接有第一机盖，所述机壳的后侧活动连接有第二机盖，所述机壳的内侧设有位于第一机盖下方的工作台面机构与贴膜台盘机构、位于第一机盖和第二机盖之间的滚轮机构和位于第二机盖下方的料筒机构，所述第一机盖上安装有位于所述工作台面机构和贴膜台盘机构上方的圆割刀机构；本发明的有益效果为：贴膜台盘机构用于放置不同尺寸的晶圆，滚轮机构不仅可以将膜牢牢贴在晶圆上，也可以在横向上将膜切开，料筒机构用于收卷新膜和离型膜，并且可以分离新膜上的离型膜，圆割刀机构能够在周向上将膜切开，该手动晶圆贴膜机便于工作人员进行操作，并且提高了贴膜的工作效率。CN115588642ACN115588642A权利要求书1/1页1.一种手动晶圆贴膜机，包括机壳，所述机壳在长度方向上的中间位置活动连接有第一机盖，所述机壳的后侧活动连接有第二机盖，其特征在于：所述机壳的内侧设有位于第一机盖下方的工作台面机构与贴膜台盘机构、位于第一机盖和第二机盖之间的滚轮机构和位于第二机盖下方的料筒机构，所述贴膜台盘机构安装在工作台面机构上，所述工作台面机构、滚轮机构和料筒机构沿着机壳长度方向从前到后依次安装在机壳内，所述第一机盖上安装有位于所述工作台面机构和贴膜台盘机构上方的圆割刀机构。2.根据权利要求1所述的一种手动晶圆贴膜机，其特征在于：所述机壳的前侧设有操作面板，所述操作面板上从左到右依次设有电源开关、温控按钮、加热开关和真空开关。3.根据权利要求1所述的一种手动晶圆贴膜机，其特征在于：所述工作台面机构包工作台，所述工作台上开设有用于放置贴膜台盘机构的放置槽，所述工作台上开设有多个沿放置槽周向均匀间隔分布的安装孔，所述安装孔的侧方设有用于安装顶丝的顶丝孔，所述工作台上位于所述放置槽后方开设有两道横切刀槽，其中一道较为后方的横切刀槽处设有两个拉膜缺口，所述工作台上开设有两个位于两个拉膜缺口之间的定位钉。4.根据权利要求1所述的一种手动晶圆贴膜机，其特征在于：所述贴膜台盘机构包括台盘底座和安装在所述台盘底座上的贴膜台盘，所述台盘底座上对应安装孔开设有多个沿台盘底座周向均匀间隔分布的连接孔，且所述贴膜台盘的圆心位置开设有真空进气口，所述贴膜台盘上开设有与所述真空进气口相连通的真空槽，所述贴膜台盘上从内到外依次间隔设有4寸晶圆定位线、6寸晶圆定位线和8寸晶圆定位线。5.根据权利要求1所述的一种手动晶圆贴膜机，其特征在于：所述滚轮机构包括两个侧板和位于两个侧板顶侧的横板，两个所述侧板的前侧安装有导轨，所述导轨上滑动连接有横切刀机构，所述横切刀机构包括横切刀和位于所述横切刀顶侧的横切刀手柄，所述横板上安装有两个驱动气缸，两个所述驱动气缸穿过横板连接有贴膜滚轮。6.根据权利要求5所述的一种手动晶圆贴膜机，其特征在于：两个所述侧板的相对侧设有第一轴承套，所述机壳内侧设有两个与所述第一轴承套滑动连接的第一直线轴，所述横板上穿设有第二轴承套，所述第二轴承套内滑动连接有与所述贴膜滚轮连接的第二直线轴，所述横板上设有位于两个第二轴承套之间的把手。7.根据权利要求1所述的一种手动晶圆贴膜机，其特征在于：所述料筒机构包括安装在机壳上的固定板、位于固定板一侧的新膜同步带轮与离型膜同步带轮和位于固定板另一侧的新膜筒和离型膜筒，所述新膜同步带轮和离型膜同步带轮之间通过皮带传动连接，所述新膜同步带轮通过第一转轴与所述新膜筒连接，所述离型膜同步带轮与离型膜筒通过摩擦带轮。8.根据权利要求7所述的一种手动晶圆贴膜机，其特征在于：所述新膜筒内安装有气囊，所述新膜同步带轮的中心位置开设有与所述气囊相连通的气囊进气口，所述滚轮机构的后方设有两个张膜杆，所述离型膜筒位于所述新膜筒和张膜杆之间。9.根据权利要求1所述的一种手动晶圆贴膜机，其特征在于：所述圆割刀机构包括安装在第一机盖上的圆割刀手柄和圆割刀杆，所述圆割刀手柄的端部通过转动机构与所述圆割刀杆连接，所述圆割刀杆的一端安装有橡胶轮，所述圆割刀杆的另一端安装有圆割刀。2CN11