微电光的射束引导构件、用于制造所述引导构件的方法和包括所述引导构件的系统.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115123995A(43)申请公布日2022.09.30(21)申请号202210305801.3G02B27/14(2006.01)(22)申请日2022.03.25(30)优先权数据102021203042.42021.03.26DE(71)申请人罗伯特·博世有限公司地址德国斯图加特(72)发明人S·平特(74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司72002专利代理师郭毅(51)Int.Cl.B81B7/02(2006.01)B81B3/00(2006.01)B81C1/00(2006.01)G02B27/10(2006.01)权利要求书2页说明书15页附图10页(54)发明名称微电光的射束引导构件、用于制造所述引导构件的方法和包括所述引导构件的系统(57)摘要本发明涉及一种微电光的射束引导构件、尤其是分束器或者射束合并器，所述微电光的射束引导构件具有至少一个第一主表面、具有至少一个第二主表面、具有主延伸平面、具有多个布置在所述第一主表面上的梁结构、具有多个布置在所述第二主表面上的梁结构并且具有多个膜片，所述膜片分别从所述第一主表面上的梁结构中的一个梁结构延伸至所述第二主表面上的梁结构中的一个梁结构，其中，所述梁结构基本上彼此平行地定向，其中，所述膜片与所述主延伸平面分别张开基本上为45°的角度。CN115123995ACN115123995A权利要求书1/2页1.一种微电光的射束引导构件、尤其是分束器或射束合并器，所述微电光的射束引导构件具有至少一个第一主表面(16a；16b；16c；16d)、具有至少一个第二主表面(18a；18b；18c；18d)、具有主延伸平面(12a；12b；12c；12d)、具有多个布置在所述第一主表面上的梁结构(20a；20b；20c；20d)、具有多个布置在所述第二主表面上的梁结构(22a；22b；22c；22d)并且具有多个膜片(24a、26a、28a、30a；24b、26b、28b；24c、26c、28c、30c；24d、26d、28d)，所述多个膜片分别从所述第一主表面(16a；16b；16c；16d)上的梁结构(20a；20b；20c；20d)中的一个梁结构延伸至所述第二主表面(18a；18b；18c；18d)上的梁结构(22a；22b；22c；22d)中的一个梁结构，其中，所述梁结构(20a、22a；20b、22b；20c、22c；20d、22d)基本上彼此平行地定向，其中，所述膜片(24a、26a、28a、30a；24b、26b、28b；24c、26c、28c、30c；24d、26d、28d)与所述主延伸平面(12a；12b；12c；12d)分别张开基本上为45°的角度(32a；32b；32c；32d)。2.根据权利要求1所述的微电光的射束引导构件，其特征在于，所述膜片(24a、26a、28a、30a；24b、26b、28b；24c、26c、28c、30c；24d、26d、28d)中的至少大部分基本上彼此平行地布置。3.根据权利要求1或2所述的微电光的射束引导构件，其特征在于，所述膜片(24a、26a、28a、30a；24b、26b、28b；24c、26c、28c、30c；24d、26d、28d)和所述梁结构(20a、22a；20b、22b；20c、22c；20d、22d)基本上完全布置在所述第一主表面(16a；16b；16c；16d)与所述第二主表面(18a；18b；18c；18d)之间。4.根据上述权利要求中任一项所述的微电光的射束引导构件，其特征在于，所述膜片(24a、26a、28a、30a；24b、26b、28b；24c、26c、28c、30c；24d、26d、28d)中的至少两个膜片限界至少一个贯穿引导部(42a；42b；42c；42d)，所述贯穿引导部在两个膜片(24a、26a、28a、30a；24b、26b、28b；24c、26c、28c、30c；24d、26d、28d)之间从所述第一主表面(16a；16b；16c；16d)延伸至所述第二主表面(18a；18b；18c；18d)。5.根据权利要求4所述的微电光的射束引导构件，其特征在于，所述至少一个贯穿引导部(42a；42b；42c；42d)在至少一个区域中完全从所述第一主表面(16a；16b；16c；16d)与所述主延伸平面(12a；12b；12c；12d)垂直地延伸至所述第二主表面(18a；18b；18c；18d)。6.根据上述权利要求中任一项所述的微电光的射束引导构件，其特征在于，所述多个膜片(24a、26a、28a、30a；24b、26b、28b；24c、26c、28c、30c；24d、26d、28d)包括至少两个膜片(24a、26a、28a、