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激光原理、激光刻蚀设备及清边工艺调研.ppt

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1一、激光原理激光原理激光产生的基本原理激光产生的基本原理受激辐射会出现2个同样的光子，这2个光子又去激发其它粒子发生跃迁，因而又获得4个同样的光子。如此下去，在很短的时间内会辐射出大量完全相同的光子，这个过程称为“雪崩”。雪崩就是受激辐射光的放大过程。激光的产生条件 粒子数反转(内因) 外界激励（外因） 激光振荡（放大） 粒子数反转（内因） 外界激励（外因） 激光振荡（放大） 激光的产生过程 工作物质 激励装置 光学谐振腔 工作物质 激励装置 光学谐振腔 工作物质 激励装置 光学谐振腔 具有较高能量密度的激光束照射在被加工材料表面，材料表面吸收激光能量，温度上升，产生熔融、烧蚀、蒸发从而达到去除表层的目的。二、激光刻蚀设备P1（前电极层）:前电极单元的分割P2（半导体层）:电池层的分割，底、背电极的连接P3（背电极层）:背电极分割，电池单元串联的集成深圳大族 武汉楚天 珠海粤茂 苏州德龙 武汉三工 国外主要设备厂家： 激光刻蚀设备简介：送料系统 加工系统 定位系统 激光系统 除尘系统 控制系统 送料系统 加工系统 定位系统 激光系统 除尘系统 控制系统 送料系统 加工系统 定位系统 激光系统 除尘系统 控制系统 送料系统 加工系统 定位系统 激光系统 除尘系统 控制系统 送料系统 加工系统 定位系统 激光系统 除尘系统 控制系统 送料系统 加工系统 定位系统 激光系统 除尘系统 控制系统 刻蚀设备系统视图：激光刻蚀设备比较：三、激光清边工艺 对非晶硅太阳能电池的边缘做绝缘处理 激光清边工艺：激光清边系统主要构成：红外激光器系统 声光调制系统 1.红外激光器系统 采用1064nm红外激光器，工作介质是掺钕钇铝石榴石晶体（Nd:YAG），泵浦源为半导体端面激光泵浦，激光器输出功率为250W。 2.声光调制系统 声光调制系统由声光电源和声光调制器（Q开关）两部分组成。 声光调Q技术是指在谐振腔中放入声光介质，通过电声转换形成超声波，使声光介质的折射率发生周期性变化，从而使激光能量以巨脉冲形式输出（Q值是谐振电路中的参数，Q值越高，谐振曲线越尖锐）。 声光调Q是一种广泛使用的Q开关方式，其有重复频率高、性能可靠的优点。激光器系统 外光路系统 运动系统 控制系统 冷却系统 1.扩束系统 扩束镜是能够改变激光光束直径和发散角的透镜组件，也称准直镜，通常由共焦的两个透镜:一个负透镜和正透镜组成。 外光路可配置4倍扩束系统，保证光束的准直性。激光器系统 外光路系统 运动系统 控制系统 冷却系统 激光器系统 外光路系统 运动系统 控制系统 冷却系统 激光清边工艺流程：激光清边工艺方案比较：珠海粤茂珠海粤茂Thankyou！