预览加载中,请您耐心等待几秒...
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲,该文档总共13页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~

如果您无法下载资料,请参考说明:

1、部分资料下载需要金币,请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档,再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压,在使用对应软件打开

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115018834A(43)申请公布日2022.09.06(21)申请号202210941014.8G06T7/73(2017.01)(22)申请日2022.08.08(71)申请人山东光岳九州半导体科技有限公司地址252000山东省聊城市高新区九州街道上海路1号江北鲁西环保科技城B9栋(72)发明人张琰孙思源(74)专利代理机构深圳叁众知识产权代理事务所(普通合伙)44434专利代理师董红娟(51)Int.Cl.G06T7/00(2017.01)G06T7/13(2017.01)G06T7/33(2017.01)G06T7/62(2017.01)权利要求书2页说明书8页附图2页(54)发明名称一种半导体晶片图像对准方法(57)摘要本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种半导体晶片图像对准方法,该方法获取半导体晶片的灰度图像中的边缘像素点;均匀选取多个采样点,以每个采样点作为目标点,获取目标点的特征方向,初步设定一个数量阈值,当备选圆心对应的特征方向的数量高于数量阈值时,该备选圆心为真实圆心;获取每个真实圆心为实际圆心的第一概率和第二概率;以第一概率和第二概率的乘积作为对应的真实圆心的置信度;基于所有真实圆心的置信度对数量阈值进行更新,得到最佳阈值;在基于最佳阈值得到的真实圆心中筛选出实际圆心;基于实际圆心坐标和缺口特征点坐标获取晶片的校正角度和校正距离,对晶片进行校正完成晶片对准。本发明提高了晶片对准的精度和对准效率。CN115018834ACN115018834A权利要求书1/2页1.一种半导体晶片图像对准方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:俯视采集半导体晶片的表面图像,并获取表面图像的灰度图像,对灰度图像进行边缘检测,得到边缘像素点;获取灰度图像的最外围边缘,在最外围边缘像素点中均匀选取多个采样点,以每个采样点作为目标点,获取目标点的两个相邻采样点,根据目标点和相邻采样点的数学关系获取目标点指向对应的备选圆心的特征方向,初步设定一个数量阈值,当备选圆心对应的特征方向的数量高于所述数量阈值时,该备选圆心为真实圆心;根据采样点和真实圆心之间的第一距离以及采样点和真实圆心的连线获取每个真实圆心为实际圆心的第一概率;在每个角度上获取真实圆心与最外围边缘的第二距离,依据标准晶圆半径和第二距离的差异获取每个真实圆心为实际圆心的第二概率;以第一概率和第二概率的乘积作为对应的真实圆心的置信度;基于所有真实圆心的置信度对所述数量阈值进行更新,计算更新后的数量阈值对应的真实圆心的置信度,再依据更新后的置信度继续更新数量阈值,直至所述数量阈值不再变化或者达到预设迭代次数,得到最佳阈值;在基于最佳阈值得到的真实圆心中筛选出实际圆心;根据边缘像素点与邻域像素点连线的角度判断该边缘像素点是否为缺口特征点,基于实际圆心坐标和缺口特征点坐标获取晶片的校正角度和校正距离,并对晶片进行校正,完成晶片对准。2.根据权利要求1所述的一种半导体晶片图像对准方法,其特征在于,所述特征方向的获取方法为:连接所述相邻采样点形成一条直线,过所述目标点作该直线的垂线,从所述目标点到垂线在该直线上的交点的方向为该目标点的所述特征方向。3.根据权利要求1所述的一种半导体晶片图像对准方法,其特征在于,所述第一概率的获取方法为:对于每个真实圆心,由每个采样点和真实圆心确定一条直线,获取该直线与所述最外围边缘的交点,以及真实圆心和交点之间的延伸距离,计算第一距离和延伸距离的差值绝对值,以所有采样点对应的差值绝对值的和作为预设值的负指数,得到的指数函数的结果为对应的真实圆心的所述第一概率。4.根据权利要求1所述的一种半导体晶片图像对准方法,其特征在于,所述第二概率的获取方法为:在每个角度上获取标准晶圆半径和第二距离的差值绝对值的倒数,对所有角度上的倒数求和,然后对求和结果进行归一化,归一化结果即为所述第二概率。5.根据权利要求1所述的一种半导体晶片图像对准方法,其特征在于,所述基于所有真实圆心的置信度对所述数量阈值进行更新,包括:获取当前数量阈值下置信度大于预设的置信度阈值的真实圆心的数量作为可能真实数量,当可能真实数量与所有真实圆心的数量的比值超过预设比例时,使当前数量阈值增加所述比值倍数作为新的数量阈值。6.根据权利要求1所述的一种半导体晶片图像对准方法,其特征在于,所述实际圆心的筛选方法为:2CN115018834A权利要求书2/2页获取最佳阈值下的真实圆心组成的圆心区域,获取圆心区域的区域中心点,以与区域中心点最近的真实圆心作为所述实际圆心。7.根据权利要求6所述的一种半导体晶片图像对准方法,其特征在于,所述区域中心点的获取方法为:通过在所述圆心区域内进行像素点遍历,计算遍历的像素点到每个圆心区域边缘像素点的距离