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微管缺陷检测方法、装置、设备、存储介质和程序产品.pdf
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一吃****永贺
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本申请涉及一种微管缺陷检测方法、装置、设备、存储介质和程序产品。通过获取待测半导体晶圆的待检测图像，对待检测图像进行滤波处理，得到滤波处理后的第一检测图像，进一步对第一检测图像进行自适应阈值处理，得到目标检测图像，从而根据目标检测图像以及预设的分类算法，确定待测半导体晶圆的微管缺陷。本方法在获取待测半导体晶圆的待检测图像后，采用图像处理算法，对待检测图像进行分析处理，从而识别待测半导体晶圆的微管缺陷，替代传统的人工利用显微镜目检的识别方式，提高了半导体晶圆的微管缺陷准确率和检测效率，降低检测成本。而且，在
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本申请涉及一种目标检测方法、装置、设备、存储介质和程序产品。所述方法包括：获取待检测图像；所述待检测图像包括至少一个待检测目标；将所述待检测图像输入至预设的目标检测网络中，得到各所述待检测目标的检测结果；其中，所述目标检测网络包括概率热力图头模组；所述概率热力图头模组包括背景通道；所述概率热力图头模组用于通过所述背景通道去除待检测目标中的干扰因素，并在去除干扰因素后对各所述待检测目标进行分类。采用本方法能够输出精确度更高的目标检测结果。
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