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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN104655165A(43)申请公布日2015.05.27(21)申请号201510021558.2(22)申请日2015.01.15(71)申请人国电兆晶光电科技江苏有限公司地址213200江苏省常州市金坛市南环二路888号(72)发明人王德明孔德雷刘晓慧吴健吴晓燕(74)专利代理机构常州市维益专利事务所32211代理人周祥生(51)Int.Cl.G01D11/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称一种防划伤硅棒检测垫(57)摘要一种防划伤硅棒检测垫,包括橡塑基材和橡塑凸点,橡塑凸点设置在橡塑基材的上表面上,相邻两个橡塑凸点之间的距离为2~30毫米,橡塑凸点的直径为3~20毫米,橡塑凸点的外露表面为弧形面。由于在橡塑基材上设置了橡塑凸点,待检硅棒放置在检测垫上时,即使检验台上存有微小固体硬质颗粒,只要固体颗粒尺寸小于橡塑凸点的高度都不会对硅棒表面产生任何伤害,因为碎屑等固体颗粒会自动掉落在橡塑凸点下方的橡塑基材上,不会与硅棒表面接触,因此能杜绝硅棒在检测工序产生表面划伤现象,保证了硅棒表面质量,从而降低了硅片生产企业的质量损失,经济效益和社会效益都十分显著。CN104655165ACN104655165A权利要求书1/1页1.一种防划伤硅棒检测垫,其特征是:包括橡塑基材(1)和橡塑凸点(2),橡塑凸点(2)设置在橡塑基材(1)的上表面上,相邻两个橡塑凸点(2)之间的距离为2~30毫米,橡塑凸点(2)的直径为3~20毫米,橡塑凸点(2)的外露表面为弧形面。2.根据权利要求1所述防划伤硅棒检测垫,其特征是:橡塑凸点(2)均匀地分布在橡塑基材(1)的上表面上。3.根据权利要求1所述防划伤硅棒检测垫,其特征是:所述橡塑凸点(2)在横向和纵向两个方向上均呈等间距直线分布。4.根据权利要求1所述防划伤硅棒检测垫,其特征是:橡塑凸点(2)的外露面凸出橡塑基材(1)的高度为1~10毫米。5.根据权利要求1所述防划伤硅棒检测垫,其特征是:相邻两个橡塑凸点(2)之间的距离为10~20厘米。6.根据权利要求4所述防划伤硅棒检测垫,其特征是:橡塑凸点(2)的高度为3~5厘米。2CN104655165A说明书1/2页一种防划伤硅棒检测垫技术领域:[0001]本发明涉及硅棒检测辅助装置,尤其涉及一种硅棒磨面后检测用防划伤检测垫。背景技术:[0002]在全球气候变暖、人类生态环境恶化、常规能源资源短缺并造成环境污染的形式下,太阳能是绿色可再生能源,在太阳能的有效利用中,光电利用是近年来发展最快、最具活力的研究领域。随着近几年太阳能电池的飞速发展与不断的推广应用,市场对于太阳能电池的需求量越来越大。晶体硅太阳能电池越来越多的应用于能源领域,其中,硅材料是光电利用的主要载体,晶体硅的制备是光伏电池的基础。[0003]虽然太阳能光伏产业近年发展速度很快,但硅片的价格却不断下迭,怎样节约成本是每个企业迫切需要解决的问题。硅棒切方磨面后需要对硅棒的外观质量和尺寸精度进行检测,硅棒表面质量检查包括表面无裂纹、无崩边、无缺角、无磨痕和划痕,检测尺寸精度时,需要对硅棒的每个尺寸进行逐个测量,无论是进行外观的质量检查还是尺寸的测量,在检查检测过程中,都需要在检验台上反复翻动硅棒,若检验台上存有硬质固体颗粒,必然会损伤硅棒,轻则划伤现硅棒表面,重则会产生崩边或造成局部撞损,为了尽可能减少硅棒检验过程中出现上述缺陷,人们通常是在检验台上垫一块软质材料的检测垫,如橡胶垫或泡沫垫,如图1~图2所示,这种软质检测垫虽然能对硅棒的翻动落座时起到缓冲作用,能缓解硅棒与硬质检验台之间的直接碰撞,导致硅棒损坏。但是在检验台上会有异物存在,尤其是硬质固体颗粒,如铁屑、硅粒、砂籽等,同时待检硅棒上也附有固体颗粒,这些固体颗粒会不断地镶嵌在软质检测垫的基材中,当硅棒放置在软质检验垫上进行翻转或拉移时,镶嵌在检测垫上的硬质碎屑就会划伤硅棒的表面,导致硅棒表面有划痕,降低硅棒的表面质量。当硅棒在翻转落座时若撞击过大,还会造成硅棒表面局撞损,这个问题一直困扰着硅棒检验工作,据申请人统计,因检测垫上镶嵌固体颗粒而引起硅棒表面划痕造成硅棒损伤的比例达到15%~18%,虽然有些划伤凭肉眼是看不出,但对硅片的伤害是很严重的,直接影响到硅片光电转换效率。发明内容:[0004]本发明提供了一种防划伤硅棒检测垫,它能防止硅棒在磨面后表面残留的碎屑掉落在检测垫上,划伤硅棒的表面。[0005]本发明所采用的技术方案是:[0006]一种防划伤硅棒检测垫,其特征是:包括橡塑基材和橡塑凸点,橡塑凸点设置在橡塑基材的上表面上,相邻两个橡塑凸点之间的距离为2~30毫米,橡塑凸点的直径为3~20毫米,橡塑凸点的外露表面为弧