一种柔性紫外光探测器及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108630766A(43)申请公布日2018.10.09(21)申请号201810268718.7(51)Int.Cl.(22)申请日2018.03.29H01L31/0224(2006.01)H01L31/0264(2006.01)(71)申请人佛山市顺德区中山大学研究院H01L31/102(2006.01)地址528399广东省佛山市顺德区大良街H01L31/18(2006.01)道办事处云路社区居民委员会南国东B82Y30/00(2011.01)路9号申请人广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院中山大学(72)发明人杨伯儒张伟许钰旺翁明李京周柳成林(74)专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司44205代理人左恒峰权利要求书1页说明书5页附图8页(54)发明名称一种柔性紫外光探测器及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种紫外光探测器，包括有源层、电极层和衬底，衬底采用柔性材料制成，电极层采用金属纳米线制成，制成的紫外光探测器耐弯折性较好，扩大了使用的范围；本发明的一种紫外光探测器的制备方法，运用光敏化合物的特性进行图案的刻蚀，相比于传统的激光刻蚀和黄光刻蚀而言，本发明的方法不需要昂贵的刻蚀设备，成本较低，并且制作过程简单，不会产生化学废液，因此效率更高并且也较为环保。CN108630766ACN108630766A权利要求书1/1页1.一种柔性紫外光探测器，其特征在于：包括柔性的衬底(1)、有源层(2)以及电极层(3)，所述有源层(2)包括带有图案的金属氧化物纳米线，所述电极层(3)包括带有图案的金属纳米线，所述有源层(2)、电极层(3)、衬底(1)依次排列设置。2.根据权利要求1所述的一种柔性紫外光探测器，其特征在于：所述有源层(2)的图案、电极层(3)的图案均为通过光敏化合物在黑暗的高温环境下腐蚀有源层(2)、电极层(3)得到。3.根据权利要求1所述的一种柔性紫外光探测器，其特征在于：所述金属氧化物纳米线为氧化锌纳米线、氧化硅纳米线或氧化钛纳米线其中一种。4.根据权利要求1所述的一种柔性紫外光探测器，其特征在于：所述金属纳米线为银纳米线、金纳米线、铜纳米线、铂纳米线、铁纳米线、镍纳米线、铝纳米线、钛纳米线、硅纳米线、锡纳米线、锌纳米线、铟纳米线或镓纳米线其中一种。5.一种柔性紫外光探测器的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：A、对衬底(1)进行预处理；B、配制可图案化导电油墨和可图案化金属氧化物纳米线溶液，所述可图案化导电油墨和可图案化金属氧化物纳米线溶液中均包括光敏化合物；C、吸取可图案化导电油墨，滴在衬底(1)表面，采用旋涂方式在衬底(1)上沉积导电油墨，静置风干，得到透明导电薄膜；D、将金属掩膜置于透明导电薄膜上方，进行紫外曝光，然后将曝光后的透明导电薄膜置于高温下进行热显影，得到电极层图案；E、吸取可图案化金属氧化物纳米线溶液，滴于电极层(3)上层，旋涂，静置风干；F、将金属掩膜置于透明导电薄膜上方，进行紫外曝光，然后将曝光后的透明导电薄膜置于高温下进行热显影，得到有源层图案。6.根据权利要求5所述的一种柔性紫外光探测器的制备方法，其特征在于：所述步骤A中对衬底(1)进行预处理的具体步骤为：将衬底(1)置于UV/O3环境下6-10分钟，所述衬底(1)为PET或PEN材料制成的柔性衬底(1)。7.根据权利要求5所述的一种柔性紫外光探测器的制备方法，其特征在于：所述步骤B中的光敏化合物为易溶于极性溶剂的二苯基碘硝酸盐。8.根据权利要求5所述的一种柔性紫外光探测器的制备方法，其特征在于：所述步骤B中的可图案化导电油墨还包括金属纳米线、胶黏剂以及分散剂，可图案化金属氧化物纳米线溶液还包括金属氧化物纳米线、胶黏剂以及分散剂。9.根据权利要求8所述的一种柔性紫外光探测器的制备方法，其特征在于：所述胶黏剂为羟丙基甲基纤维素、羟丙基纤维素、羧甲基乙基纤维素、聚乙烯吡咯烷酮、聚丙烯酸酯或聚丙烯酰胺其中一种。10.根据权利要求8所述的一种柔性紫外光探测器的制备方法，其特征在于：所述分散剂为乙醇、丙醇或异丙醇其中一种。2CN108630766A说明书1/5页一种柔性紫外光探测器及其制备方法技术领域[0001]本发明涉及光电器件领域，特别是一种柔性紫外光探测器及其制备方法。背景技术[0002]紫外光探测器的应用十分广泛，例如，在军用方面，可用于宇航探测、导弹轨迹追踪等；在民用方面则可用于火灾报警器、高压电晕检测、紫外指纹检测等，目前普遍使用的是刚性的半导体紫外光探测器，尽管其性能稳定，但刚性的特点限制了它的适用范围，为了适应柔性电子快速发展的潮流，需要开发出一种制作步骤简单、成本低廉、响应度高的柔性紫外光探测器。[0003]目前常用的图案化工艺