真空度控制装置及系统.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115234837A(43)申请公布日2022.10.25(21)申请号202210962606.8(22)申请日2022.08.11(71)申请人河北氢禄新能源科技有限公司地址100020北京市朝阳区豆各庄六号院京城雅居40号楼C栋(72)发明人马弢牛晓张福林杨健(74)专利代理机构北京细软智谷知识产权代理有限责任公司11471专利代理师涂凤琴(51)Int.Cl.F17D1/02(2006.01)F17D1/065(2006.01)F17D3/01(2006.01)G05B19/042(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图2页(54)发明名称真空度控制装置及系统(57)摘要本申请涉及一种真空度控制装置及系统，装置包括：气流通道、比较电路和电磁阀。其中，气流通道的两端分别连接真空腔体和真空泵；电磁阀设置在气流通道中，用于调节气流通道中的进气流量；比较电路连接电磁阀的开关电路，还分别接入真空腔内的真空度实际信号和上位工控机设定的真空度设定信号。比较电路在真空度实际信号大于真空度设定信号时，通过电磁阀的开关电路控制电磁阀关闭/挡位减小；在真空度实际信号小于真空度设定信号时，通过电磁阀的开关电路控制电磁阀挡位增大。本申请中通过在气流通道内设置电磁阀以调整真空腔内的真空度实际信号，即使真空腔内的进气流量改变，也可以保证真空腔内的实际真空度一直与上位工控机设定的真空度持平。CN115234837ACN115234837A权利要求书1/2页1.一种真空度控制装置，其特征在于，包括：气流通道、比较电路和电磁阀；所述气流通道的两端分别连接真空腔体和真空泵；所述电磁阀设置在所述气流通道中，用于调节所述气流通道中的进气流量；所述比较电路连接电磁阀的开关电路，还分别接入真空度实际信号和真空度设定信号；所述比较电路用于在所述真空度实际信号大于真空度设定信号时，通过电磁阀的开关电路控制电磁阀关闭/挡位减小；在所述真空度实际信号小于真空度设定信号时，通过电磁阀的开关电路控制电磁阀挡位增大。2.根据权利要求1所述的真空度控制装置，其特征在于，还包括：单片机；所述比较电路通过所述单片机接入真空度实际信号和真空度设定信号；所述单片机用于对所述真空度实际信号进行预处理，以使非线性的真空度实际信号转化为线性的真空度实际信号。3.根据权利要求2所述的真空度控制装置，其特征在于，所述预处理包括：确定真空度设定信号的电压区间段与压强区间段的对应关系；将真空度实际信号的电压区间段进行拆分，使其中呈线性的电压区间段与真空度设定信号的压强区间段进行对应；将真空度实际信号中呈线性的电压区间段放大至真空度设定信号的电压区间段范围。4.根据权利要求1所述的真空度控制装置，其特征在于，还包括：反馈强度调节电路；所述反馈强度调节电路中包括：采样电阻；所述反馈强度调节电路通过所述采样电阻连接电磁阀的开关电路，采集电磁阀的开关电路中的采样电流信号。5.根据权利要求4所述的真空度控制装置，其特征在于，所述反馈强度调节电路中还包括：可调电位器；所述反馈强度调节电路通过所述可调电位器对所述真空度实际信号和所述真空度设定信号进行运放处理。6.根据权利要求1所述的真空度控制装置，其特征在于，还包括：运放电路；所述比较电路通过所述运放电路接入所述真空度设定信号。7.根据权利要求1所述的真空度控制装置，其特征在于，还包括：气体流量传感器；所述气流通道包括：第一通道和第二通道；所述电磁阀设置在所述第一通道中，所述气体流量传感器设置在所述第二通道中；所述气体流量传感器用于检测所述第二通道中的第一气体流量信号，并将所述第一气体流量信号发送到工控机。8.根据权利要求7所述的真空度控制装置，其特征在于，还包括：桥式放大电路、仪表运算放大器、传感器动态响应调节电路和滤波电路；所述气体流量传感器依次连接所述桥式放大电路、所述仪表运算放大器、所述传感器动态响应调节电路和所述滤波电路；所述桥式放大电路和所述仪表运算放大器用于将所述第一气体流量信号进行放大；所述传感器动态响应调节电路用于对放大后的第一气体流量信号进行加速输出；2CN115234837A权利要求书2/2页所述滤波电路用于对加速后的第一气体流量信号进行滤波处理。9.一种真空度控制系统，其特征在于，包括：工控机、气源、进气设备、真空腔体、真空泵、真空测量单元，以及如权利要求1‑8任一项所述的真空度控制装置；所述工控机分别连接所述进气设备、所述真空测量单元和所述真空度控制装置；所述进气设备分别连接所述气源和所述真空腔体；所述真空测量单元设置在所述真空腔体中，用于检测所述真空度实际信号，并将所述真空度实际信号分别发送到所述工控机和所述真空度控制装置；所述进气设备用于检测所述气源处的第二气体流量