硅棒碰壁检测装置.pdf
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硅棒碰壁检测装置.pdf
本发明公开了一种硅棒碰壁检测装置,其包括连接于还原炉变压器低压侧的零排的接地检测电路,接地检测电路包括第一、第二继电器,当接地检测电路检测到零排的电流高于预设的电流阈值,或电压高于预设的电压阈值时,接地检测电路控制第一、第二继电器断电。第一继电器包括第一常闭触点,第二继电器包括第二常闭触点,第一、第二常闭触点并联,硅棒碰壁检测装置还包括报警装置,第一、第二常闭触点并联后与报警装置串联,当零排的电流高于预设的电流阈值时,第一常闭触点闭合,当零排的电压高于预设的电压阈值时,第二常闭触点闭合,当第一、第二常闭触
硅芯、硅棒制备装置及硅棒制备方法.pdf
本发明提供了一种硅芯、硅棒制备装置及硅棒制备方法,涉及多晶硅生产技术领域,该硅芯沿其轴向设有多个间隔设置的凹陷部,凹陷部沿垂直于硅芯的轴向向内形成周向凹陷部。该硅棒制备装置包括还原炉和硅芯,硅芯安装在还原炉内。该硅棒制备方法包括沿硅芯的轴向量取所需长度并设置标记点;在标记点处构建多个凹陷部;将硅芯安装在还原炉内生长,待硅棒生长到一定直径后停炉;取出生长到一定直径的硅棒,通过敲击的方式获得所需尺寸的硅棒。解决了现有技术中存在的硅棒在人工敲砸时容易直接敲成碎块,进而造成浪费的技术问题。
一种单多晶硅棒检测装置.pdf
本发明公开了一种单多晶硅棒检测装置,属于检测技术领域,解决了现有装置不能对方形晶棒进行驱动和限位,从而影响晶棒检测效率的问题,装置包括:支撑主体,支撑主体包括检测承载座;设置在检测承载座上的晶棒检测组件;晶棒检测组件包括:检测驱动机构,安装在所述检测承载座上,为驱动晶棒提供动力;与检测驱动机构连接的检测限位一体机构,所述检测限位一体机构用于晶棒的检测、驱动并限位;设置在所述检测承载座一侧的晶棒夹持机构;本申请中设置有检测限位一体机构,检测限位一体机构能够对不同规格的晶棒进行完好度检测,同时还能驱动晶棒位移
单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置.pdf
本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置。所述方法包括:提供炉体、导气管以及加料器,炉体内装有双坩埚和加热器;将硅料装入双坩埚中,双坩埚包括外坩埚以及设置于外坩埚内的内坩埚;将导气管插入双坩埚中,并将加料器的加料管插入外坩埚;采用加热器加热熔化双坩埚内的硅料,得到硅液;通过导气管向双坩埚内通入反应气体,反应气体至少包括含卤气体,以使含卤气体与双坩埚内的硅液或者硅料中的金属杂质反应;通过所述加料管持续向所述外坩埚加入所述硅料,同时从所述内坩埚的硅液中拉晶,以得到单晶硅棒。本申请实施例中,可以
单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置.pdf
本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制方法和单晶硅棒拉制装置。所述单晶硅棒拉制方法包括:将硅料装入炉体内的坩埚中;采用加热器加热熔化所述坩埚内的硅料,得到硅液;将导气管插入所述硅液中;通过所述导气管向所述硅液中通入反应气体,所述反应气体至少包括含卤气体,以使所述含卤气体与所述硅液中的金属杂质反应;在所述硅液中执行引晶、放肩、等径操作,以得到单晶硅棒。本申请实施例中,在单晶硅棒拉制的过程中,可以将含卤气体通入硅液内部,以使含卤气体与所述硅液的金属杂质充分反应,提高所述硅液的纯度,从而,可以减少从所述硅液中生长拉