一种单晶硅棒加工装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110257902A(43)申请公布日2019.09.20(21)申请号201910723239.4(22)申请日2019.08.06(71)申请人阳江职业技术学院地址529599广东省阳江市区东山路213号(72)发明人骆仕斌(74)专利代理机构深圳市鼎智专利代理事务所(普通合伙)44411代理人曹勇(51)Int.Cl.C30B15/14(2006.01)C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种单晶硅棒加工装置(57)摘要本发明公布了一种单晶硅棒加工装置，包括上炉盖、下炉盖、拉升旋转机构、提拉杆、抽气管、导流筒、石英坩埚、加热器、电机柱，所述上炉盖内设置有沿提拉杆杆壁向下对晶棒进行降温的冷却机构以及防止热量散发的挡热组件，其中冷却机构包括套设在提拉杆外的引流板以及安装风冷器的安装底座，上炉盖的炉体上设置有进风孔，引流板上开设有降温口以及使挡热组件进入对其形成封闭结构的安装槽；所述挡热组件包括密封在安装槽上的隔板和提供压紧力的弹簧，所述提拉杆上设置有在尾部生长状态时抬升隔板的拉块；本发明的目的是提供一种单晶硅棒加工装置，旨在形成环形气流，保证晶棒在同一区域能够均匀冷却，提高晶棒的加工质量。CN110257902ACN110257902A权利要求书1/1页1.一种单晶硅棒加工装置，包括上炉盖(1)、下炉盖(2)、拉升旋转机构(3)、提拉杆(4)、抽气管(15)、导流筒(16)、石英坩埚(17)、加热器(19)、电极柱(20)，其特征在于，所述上炉盖(1)内设置有沿提拉杆(4)杆壁向下对晶棒进行降温的冷却机构以及防止热量散发的挡热组件，其中：冷却机构包括套设在提拉杆(4)外的引流板(5)以及安装风冷器(7)的安装底座(6)，上炉盖(1)的炉体上设置有进风孔(9)，引流板(5)上开设有降温口(8)以及使挡热组件进入对其形成封闭结构的安装槽(13)；所述挡热组件包括密封在安装槽(13)上的隔板(10)和提供压紧力的弹簧(11)，所述提拉杆(4)上设置有在尾部生长状态时抬升隔板(10)的拉块(12)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒加工装置，其特征在于，所述石英坩埚(17)的外侧焊接有防溢埚(21)，所述防溢埚(21)上开设有流道(22)，所述流道(22)的进料口低于石英坩埚(17)的顶部。3.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒加工装置，其特征在于，所述流道(22)的下端设置有接料槽(23)，所述接料槽(23)上放置有衔接流道(22)出口的接料筒(24)。4.根据权利要求3所述的一种单晶硅棒加工装置，其特征在于，所述接料槽(23)的侧端设置将接料筒(24)送入的开口，所述开口上密封设置有推料盒体(25)，所述接料筒(24)放置在推料盒体(25)上。5.根据权利要求4所述的一种单晶硅棒加工装置，其特征在于，所述开口上固定安装有按钮(29)，所述按钮(29)与开关控制器连接，推料盒体(25)的底部具有一滑口(26)，所述滑口(26)上设置有一压板(30)，按钮(29)与压板(30)正对设置。6.根据权利要求4-5任意一项所述的一种单晶硅棒加工装置，其特征在于，所述推料盒体(25)的侧端设置有拉环(27)。7.根据权利要求6所述的一种单晶硅棒加工装置，其特征在于，所述推料盒体(25)上还设置有密封件(28)。8.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒加工装置，其特征在于，所述安装槽(13)内设置有缓冲件(14)。2CN110257902A说明书1/3页一种单晶硅棒加工装置技术领域[0001]本发明属于技术领域，具体是涉及一种单晶硅棒加工装置。背景技术[0002]单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等；由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一，其中在单晶硅的加工工序中，有一个工序是在长晶炉内进行拉晶，形成单晶硅棒。[0003]在晶棒生长过程中，需要被升至上炉室冷却一段时间后再取出，现有对晶棒进行冷却的机构，均为从侧部直接吹风，虽然侧吹风装置结构简单，操作方便，但冷却程度不均匀，现有的为局部冷却，靠近风面的晶棒冷却快，背面吹不到的晶棒表面冷却慢，直接影响着晶体的形状和内部结构，正对风面一侧的棒面膨胀系数大于背部一侧。发明内容[0004]本发明的目的是针对以上问题，提供了一种单晶硅棒加工装置，旨在形成环形气流，保证晶棒在同一区域能够均匀冷却，提高晶棒的加工质量。[0005]为实现