基于等离子体处理的高热值危险废物处理系统和处理方法.pdf
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基于等离子体处理的高热值危险废物处理系统和处理方法.pdf
本发明提供一种基于等离子体处理的高热值危险废物处理系统和处理方法。所述系统包括输送单元、脱附单元、等离子热解单元、二噁英脱出单元、等离子脱硫脱硝单元和灰渣输出单元。本发明通过针对高热值危险废物的组分特性不同采用分段裂解,高热值危险废物中的Cl元素已经在脱附单元进行脱出,等离子热解炉热解的气化气和来自热脱附反应器的脱附气在氧气等离子体的高温、高焓和高氧化活性下全部转化为二氧化碳,避免了二噁英的前驱物的产生,采用低温等离子反应器对烟气进行高效率脱硫脱硝。本发明工艺能够能够提高高热值危险废物处理的无害化程度,同
等离子体处理方法和等离子体处理系统.pdf
本发明提供一种等离子体处理方法和等离子体处理系统,在等离子体处理前适当地对腔室的内部的构件的表面进行预涂布。等离子体处理方法包含以下工序:工序(a),利用包含不含卤素的前体气体的第一处理气体对腔室的内部的构件的表面形成第一保护膜;以及工序(b),在对所述构件的表面形成所述第一保护膜之后,利用第二处理气体的等离子体对被搬入到所述腔室的内部的处理对象体进行等离子体处理。
危险废物等离子体熔融处理系统.pdf
危险废物等离子体熔融处理系统,它涉及危险废物处理技术领域。它包含等离子体熔融炉、破碎机、造粒机、焚烧渣仓、飞灰粒仓、混料输送机、入料缓冲仓、捞渣机、烟气调节器、回转窑焚烧炉二燃室、等离子炬;它采用等离子体熔融炉进行危废物焚烧处理,主要处理物料为焚烧残渣、飞灰等物料,辅料(助熔剂)主要为碎玻璃和石灰;采用上述技术方案后,本发明有益效果为:a.可以处理有毒、有害危险及非危险废物,包括有机的、无机的、气态的、液态的及固态的废物;b.处理过程二噁英的产生量极少;c.处理后的炉渣为无毒无害的玻璃化渣,为惰性物质,其
基于低温等离子体的目标有机废气循环处理系统和处理方法.pdf
本发明涉及石油、石化及化工行业目标有机废气低温等离子体处理技术及快速冷却收集技术领域,公开了一种基于低温等离子体的目标有机废气循环处理系统和处理方法,其中的处理系统包括低温等离子体反应器(1),目标有机废气(F)经低温等离子体反应器后输入活性炭吸附塔子系统(2)净化处理后排空;活性炭吸附塔子系统沿目标有机废气从上游到下游的方向依次包括彼此连通的用于吸附目标有机废气的吸附系统、用于脱附吸附在吸附系统中的目标有机废气的再生系统和用于吸收并处理脱附的目标有机废气的吸收系统。本发明稳定性高、安全环保、处理效率高且
等离子体处理方法、等离子体处理装置以及等离子体处理系统.pdf
本发明提供能够控制开口的尺寸的等离子体处理方法、等离子体处理装置以及等离子体处理系统。本公开的等离子体处理方法包含以下工序:准备工序,准备具有(a)被蚀刻膜、(b)光致抗蚀剂膜和(c)第1膜的基板,该光致抗蚀剂膜形成于所述被蚀刻膜的上表面,且具有在所述被蚀刻膜的所述上表面规定出至少一个开口的侧面,该第1膜至少包含第1部分和第2部分,所述第1部分是形成于所述光致抗蚀剂膜的上表面的部分,所述第2部分是形成于所述光致抗蚀剂膜的所述侧面的部分,所述第1部分的膜厚厚于所述第2部分的膜厚;以及修整工序,至少对所述光致