一种铁钴硼铬铝合金粉末的制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112371987A(43)申请公布日2021.02.19(21)申请号202011268348.0C22C38/06(2006.01)(22)申请日2020.11.13C22C38/30(2006.01)C22C38/32(2006.01)(71)申请人河南东微电子材料有限公司地址450000河南省郑州市航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园B区12号楼1、2层(72)发明人王永超陈耘田赵泽良仝红岩王留土郑海强史豪杰居炎鹏郭利乐刘占军李伟(74)专利代理机构郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙)41149代理人李伟(51)Int.Cl.B22F9/08(2006.01)C22C30/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种铁钴硼铬铝合金粉末的制备方法(57)摘要本发明公开了一种铁钴硼铬铝合金粉的制备方法，其步骤包括：一、按一定质量比称取铁块（纯度99.99%）、钴片（纯度99.99%）、铁硼粉（纯度99.9%，粒度>300μm）、铬块（纯度99.99%）、铝块（纯度99.99%）；二、将原料混合放入中频真空感应炉中，在氩气保护下进行多次熔炼，得到均匀化的铁钴硼铬铝合金液；三、将母合金液经中间包导入高温气雾化炉，合金液流入雾化室进行气雾化分散，冷却后得到粉末；四、将步骤三所得粉末进行超声洗涤、干燥、分级筛分后，获得铁钴硼铬铝合金粉末产品。本发明通过限定原料和控制气雾化法工艺，可以制备纯度高于99.95%、平均粒径为56μm的铁钴硼铬铝合金粉末，该粉合金粉成分均匀、杂质少、流动性好。本发明工艺流程简单，适合批量化生产，满足磁控溅射靶材制备对高质量铁钴硼铬铝合金粉的要求。CN112371987ACN112371987A权利要求书1/1页1.一种铁钴硼铬铝合金粉末，其特征在于：所述铁钴硼铬铝合金粉为类球形，流动性好，粒径4.6～198μm，平均粒径为56μm。2.根据权利要求1所述的铁钴硼铬铝合金粉，其特征在于：粉末的纯度大于99.95%。3.根据权利要求1所述的铁钴硼铬铝合金粉，其特征在于：粉末中Fe含量为40-75wt%、Co含量为20-55wt%、B含量为3.5-8.5wt%、Cr含量为0.5-1.4wt%、Al含量为0.1-1.1wt%。4.一种铁钴硼铬铝合金粉的制备方法，其特征在于包含以下工艺步骤：（1）按一定质量比称取铁块（纯度99.99%）、钴片（纯度99.99%）、铁硼粉（纯度99.9%，粒度>300μm）、铬块（纯度99.99%）、铝块（纯度99.99%）；（2）母合金熔炼：将步骤（1）配取的原料混合放入中频真空感应炉中，在氩气保护下进行多次熔炼，得到均匀化的铁钴硼铬铝合金液；（3）高温气雾化制粉：将步骤（2）得到的母合金液经中间包导入高温气雾化炉，合金液流入雾化室进行气雾化分散，冷却后得到粉末；（4）洗涤、干燥：将步骤（3）所得粉末进行超声洗涤、干燥、分级筛分后，获得铁钴硼铬铝合金粉末。5.根据权利要求4所述的一种铁钴硼铬铝合金粉的制备方法，其特征在于：步骤（2）所述的母合金熔炼中保护气氛为氩气，升温至1600-1800℃，保温15-60min后随炉冷却，重复熔炼3-5次。6.根据权利要求4所述的一种铁钴硼铬铝合金粉的制备方法，其特征在于：步骤（3）所述高温气雾化制粉的条件为：保护气氛为氩气，腔室压力为0.2-0.5MPa，雾化压力为1.8-3.0MPa，喷铸压力为0.2-1.2MPa，雾化气体为氩气。7.根据权利要求4所述的一种铁钴硼铬铝合金粉的制备方法，其特征在于：步骤（4）所述的洗涤、干燥条件为：超声清洗介质为无水乙醇，时长10-40min，使用真空干燥箱干燥20-60min，温度40-80℃。2CN112371987A说明书1/3页一种铁钴硼铬铝合金粉末的制备方法技术领域[0001]本发明属于粉末冶金技术领域，具体涉及一种铁钴硼铬铝合金粉末的制备方法。背景技术[0002]目前磁存储技术的进步非常显著，磁存储介质的存储密度正在快速提高，从而提高存储器的容量。然而，在当前全球使用的横向磁存储系统的介质中，提高存储密度需要缩小单位存储位长度，而在单位存储位上较高的矫顽力会导致存储失败。鉴于此，开发垂直磁记录系统被证明可以有效解决这些问题并提高记录密度。[0003]在垂直磁存储系统中，作为磁记录介质的磁性薄膜中易磁化轴垂直于表面，可以有效提高存储密度。目前已经开发出一种由磁存储薄膜和软磁薄膜组成的两层存储媒介可以用于垂直存储系统。而主流的制备方法是通过磁控溅射制备FeCoB基软磁薄膜层。当进行磁控溅射时，磁铁的磁场需透过靶材到其表面，在磁场区汇聚等离子体，用于快速成膜。鉴于此，如果靶材的磁导率