一种光学整形系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101881889A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN101881889A(43)申请公布日2010.11.10(21)申请号201010202401.7(22)申请日2010.06.13(71)申请人深圳市大族激光科技股份有限公司地址518020广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号(72)发明人李家英周朝明高云峰(74)专利代理机构广东国晖律师事务所44266代理人欧阳启明(51)Int.Cl.G02B27/09(2006.01)B23K26/06(2006.01)B23K26/073(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图7页(54)发明名称一种光学整形系统(57)摘要一种光学整形系统，包括：激光整形加工系统和激光成像监控系统，所述激光加工整形系统包括整形扩束镜和整形聚焦镜，所述整形扩束镜包括由光线的入射光线方向依次排列的第一、第二、第三透镜，所述整形扩束镜的扩束倍数为8X；所述整形聚焦镜包括由光线的入射光线方向依次排序的第四、第五、第六透镜，所述整形聚焦镜的焦距为25mm；所述激光成像监控系统包括CCD系统，其监控范围为0.8*0.8mm2。利用这种原理设计出来的光学系统加工出来的线条就会如图4所示，是一整齐的线条，而且线条的中心与边缘都有相同的能量。具有这种功能的光学系统—将“高斯”分布的光束整形成“高帽型”分布的光束称为光束整形系统。CN1089ACN101881889A权利要求书1/1页1.一种光学整形系统，其特征在于，包括：激光整形加工系统和激光成像监控系统，所述激光加工整形系统包括整形扩束镜和整形聚焦镜，所述整形扩束镜包括由光线的入射光线方向依次排列的第一、第二、第三透镜，所述第一透镜为双凹型透镜，所述第二透镜为弯月型头奖，其曲面背向着光线入射方向弯曲，所述第三透镜为弯月型透镜，其曲面向着光线入射方向弯曲，所述整形扩束镜的扩束倍数为8X；所述整形聚焦镜包括由光线的入射光线方向依次排序的第四、第五、第六透镜，所述第四透镜为双凸型透镜，所述第五透镜为弯月型透镜，其曲面背向着光线入射方向弯曲，第六透镜为双凹型透镜，所述整形聚焦镜的焦距为25mm；所述激光成像监控系统包括CCD系统，其监控范围为0.8*0.8mm2。2.如权利要求1所述的光学整形系统，其特征在于：第一透镜分别由曲率半径为R1＝-26mm、R2＝6mm的两个曲面S1、S2构成；第二透镜分别由曲率半径为R3＝20mm、R4＝＝21mm的两个曲面S3、S4构成；第三透镜分别由曲率半径为R5＝-62mm、R6＝-17mm的两个曲面S5、S6构成，所述曲率半径的公差范围为5％。3.如权利要求1所述的光学整形系统，其特征在于：第一透镜在光轴上的中心厚度d1＝1mm，材料为Nd1∶Vd1＝1.46/68；第二透镜在光轴上的中心厚度d3＝1.5mm，材料为Nd1∶Vd1＝1.46/68；第三透镜在轴上的中心厚度d5＝2mm，材料为为Nd1∶Vd1＝1.46/68，所述中心厚度与材料Nd1∶Vd1的公差范围为5％。4.如权利要求1所述的光学整形系统，其特征在于：第一透镜与第二透镜在光轴上的间距为d2＝21mm，第二透镜与第三透镜在光轴上的间距为d4＝0.8mm，所述间距的公差范围为5％。5.如权利要求1所述的光学整形系统，其特征在于：第四透镜分别由曲率半径为R7＝17mm、R8＝-27mm的两个曲面S7、S8构成；第五透镜分别由曲率半径为R9＝14mm、R10＝30mm的两个曲面S9、S10构成；第六透镜分别由曲率半径为R11＝-27mm、R12＝36mm的两个曲面S11、S12构成，所述曲率半径的公差范围为5％。6.如权利要求1所述的光学整形系统，其特征在于：第四透镜在光轴上的中心厚度d7＝2.8mm，材料为Nd1∶Vd1＝1.46/68；第五透镜在光轴上的中心厚度d9＝2mm，材料为Nd1∶Vd1＝1.46/68；第六透镜在光轴上的中心厚度d11＝1mm，材料为Nd1∶Vd1＝1.46/68，所述中心厚度与材料Nd1∶Vd1的公差范围为5％。7.如权利要求1所述的光学整形系统，其特征在于：第四透镜与第五透镜在光轴上的间距为d8＝0.2mm，第五透镜L5与第六透镜L6在光轴上的间距为d10＝1.4mm，所述间距的公差范围为5％。2CN101881889A说明书1/5页一种光学整形系统【技术领域】[0001]本发明涉及一种紫外激光应用的光学整形系统。【背景技术】[0002]随着激光加工的不断发展，需要加工的介质品种日益增加，要求加工出来的效果也越来越精细，尤其是一些特殊材料。所以应用UV紫外激光来进行激光加工就越来越广泛。由于其聚焦光斑极小，且加工热影响区微乎其微等，因此用紫外激光加工主要是用于超精细打标、