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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111097278A(43)申请公布日2020.05.05(21)申请号202010036520.3(22)申请日2020.01.14(71)申请人上海正帆科技股份有限公司地址201108上海市闵行区春永路55号2幢(72)发明人曾庆腾(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332代理人胡彬(51)Int.Cl.B01D53/78(2006.01)B01D53/96(2006.01)B01D53/72(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图1页(54)发明名称一种尾气处理装置及尾气处理系统(57)摘要本发明公开了一种尾气处理装置及尾气处理系统,属于尾气处理技术领域。尾气处理装置包括进气管、循环管、排气管和尾气处理罐。进气管和循环管连接,尾气处理罐内装有反应液,尾气处理罐包括相互隔离的第一处理区和第二处理区,第一处理区和第二处理区均位于反应液液面以下;循环管的一端与第一处理区连通,另一端与第二处理区连通,反应液能够通过循环管从第二处理区回流至第一处理区,排气管连通于尾气处理罐的顶部。尾气处理系统包括沿尾气流动方向依次首尾相连的多个尾气处理装置,首端的进气管与尾气排放装置的尾气排放口连接,尾端的排气管与洗涤塔的进气口连接,提高了砷烷的吸收率,实现了对尾气的预处理,减轻了后续尾气处理压力。CN111097278ACN111097278A权利要求书1/1页1.一种尾气处理装置,其特征在于,包括进气管(1)、循环管(2)、排气管(3)和尾气处理罐(4),所述进气管(1)用于通入尾气,所述进气管(1)和所述循环管(2)连接,所述尾气处理罐(4)内装有反应液,所述尾气处理罐(4)包括相互隔离的第一处理区(41)和第二处理区(42),所述第一处理区(41)和所述第二处理区(42)均位于所述反应液液面以下,所述循环管(2)的一端与所述第一处理区(41)连通,另一端与所述第二处理区(42)连通,所述反应液能够通过所述循环管(2)从所述第二处理区(42)回流至所述第一处理区(41),所述排气管(3)连通于所述尾气处理罐(4)的顶部。2.如权利要求1所述的尾气处理装置,其特征在于,所述第一处理区(41)和所述第二处理区(42)内均设置有填料(43),所述循环管(2)的两端均位于所述填料(43)的下方,所述填料(43)用于增加所述尾气与所述反应液的接触面积。3.如权利要求1所述的尾气处理装置,其特征在于,所述尾气处理装置还包括设置在所述循环管(2)上的射流器(8),所述进气管(1)和所述射流器(8)连接。4.如权利要求3所述的尾气处理装置,其特征在于,所述尾气处理装置还包括设置在所述循环管(2)上的换热器(10),所述换热器(10)位于所述第二处理区(42)和所述射流器(8)之间。5.如权利要求1所述的尾气处理装置,其特征在于,所述尾气处理装置还包括第一循环泵(9),所述第一循环泵(9)设置在所述循环管(2)上。6.如权利要求1所述的尾气处理装置,其特征在于,所述尾气处理装置还包括液位测量组件(5),所述液位测量组件(5)用于测量所述尾气处理罐(4)内所述反应液的液位高度。7.一种尾气处理系统,其特征在于,包括沿所述尾气流动方向依次首尾相连的多个如权利要求1~6任一项所述尾气处理装置,前一个所述尾气处理装置的排气管(3)作为后一个所述尾气处理装置的进气管(1),首端的所述尾气处理装置的进气管(1)与尾气排放装置的尾气排放口连接,尾端的所述尾气处理装置的排气管(3)与洗涤塔的进气口连接。8.如权利要求7所述的尾气处理系统,其特征在于,所述尾气处理系统还包括反应液补充组件(100),所述反应液补充组件(100)与所述尾气处理罐(4)连接,用于向所述尾气处理罐(4)补充所述反应液。9.如权利要求7所述的尾气处理系统,其特征在于,所述尾气处理系统还包括排液组件(200),所述排液组件(200)与所述循环管(2)连接,所述排液组件(200)用于向外排放所述反应液。10.如权利要求7所述的尾气处理系统,其特征在于,所述尾气处理系统还包括缓冲罐(300),所述缓冲罐(300)连接于首端的所述尾气处理装置的所述进气管(1)上,所述缓冲罐(300)用于防止所述反应液回流至所述尾气排放装置内。2CN111097278A说明书1/5页一种尾气处理装置及尾气处理系统技术领域[0001]本发明涉及尾气处理技术领域,尤其涉及一种尾气处理装置及尾气处理系统。背景技术[0002]砷烷是一种剧毒、可燃气体,与空气混合可形成可燃混合气。对于含有砷烷的尾气,需对尾气中的砷烷进行吸收,然后排放到大气中,以防止污染环境危害人体健康。砷烷主要产生于半导体工业生产中厂炉管、离子植入制程、MOCVD(Meta