一种晶圆环加工冷却液的过滤装置.pdf

本实用新型涉及一种晶圆环加工冷却液的过滤装置,包括过滤管,过滤管包括管体,滑动部和过滤片,滑动部设置在管体下方,管体上设有出液孔,多个出液孔沿管体轴向间隔设置,滑动部包括固定板,滑动板和弹性件,所述固定板和滑动板相邻设置且环绕成柱形空间,弹性件设置在柱形空间内,所述固定板两端设有第一连接部和第二连接部,滑动板两端设有第一配接部和第二配接部,第一配接部位于第一连接部下方,第二配接部位于第二连接部下方,所述弹性件两端分别抵压第二连接部和第一配接部,过滤片套设在管体和滑动部外部。本实用新型能够实现对冷却液中碎屑的过滤,同时,过滤片方便安装和拆卸,清洗较方便,更有利于过滤装置循环使用。