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一种晶圆贴膜机.pdf
2023-06-04
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元枫****文章
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相关资料
一种晶圆贴膜机.pdf
本发明涉及机械设备的技术领域，特别是涉及一种晶圆贴膜机，其通过对晶圆进行自动贴膜处理，可提高晶圆贴膜工作的自动化程度，节省人力，简化贴膜方式，提高工作效率，提高实用性和可靠性；包括工作台、四组支腿、两组第一弓形架、圆形导气仓、两组空心轴和第一电机，工作台的左侧设置有上下贯穿的通槽，工作台的顶部右侧设置有薄膜输送装置、薄膜输送装置的前侧设置有推动装置，推动装置的右后侧设置有切割装置，四组支腿的顶部均匀安装在工作台的底部外侧。
2023-06-04
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一种晶圆贴膜机的贴膜切割装置.pdf
本实用新型属于晶圆贴膜切割设备的技术领域,具体为一种晶圆贴膜机的贴膜切割装置,所述的机架上间隔开设有两组安装槽,两组所述的安装槽内均固定连接有升降伸缩杆,所述的升降伸缩杆伸出端固定连接有升降板,所述的升降板上固定连接有轴承,所述的轴承内圈固定连接有割刀支架,所述的机架上转动连接有与轴承内圈固定连接的辅助伸缩杆,所述的辅助伸缩杆由动力装置驱动,所述的割刀支架上沿周向间隔固定连接有两组割刀本体,所述的升降板上设有与贴膜配合的辅助压膜装置。
2023-04-20
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一种手动晶圆贴膜机.pdf
本发明提供一种手动晶圆贴膜机，包括机壳，所述机壳在长度方向上的中间位置活动连接有第一机盖，所述机壳的后侧活动连接有第二机盖，所述机壳的内侧设有位于第一机盖下方的工作台面机构与贴膜台盘机构、位于第一机盖和第二机盖之间的滚轮机构和位于第二机盖下方的料筒机构，所述第一机盖上安装有位于所述工作台面机构和贴膜台盘机构上方的圆割刀机构；本发明的有益效果为：贴膜台盘机构用于放置不同尺寸的晶圆，滚轮机构不仅可以将膜牢牢贴在晶圆上，也可以在横向上将膜切开，料筒机构用于收卷新膜和离型膜，并且可以分离新膜上的离型膜，圆割刀机构
2023-08-19
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晶圆贴膜方法及晶圆贴膜装置.pdf
本发明公开了一种晶圆贴膜方法，其特征在于，向晶圆与台盘之间吹入气体，利用吹入的气体支撑晶圆，然后在晶圆表面贴膜。使用本发明中的晶圆贴膜方法及贴膜装置，实现了非接触贴膜，减小了损坏晶圆正面的风险。由于在滚轮按压时，可以利用气体支撑晶圆，以此可以抵消滚轮的压力，滚轮不会轻易将晶圆压破或压碎；因此，使用本发明中的方法及装置进行非接触贴膜，可以贴膜的晶圆最小厚度为50μm，远低于使用现有技术贴膜的最小厚度200μm。
2023-10-21
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一种晶圆贴揭膜方法.pdf
本发明公开了一种晶圆贴揭膜方法，利用静电的吸附原理特性，无需使用人工及压平器具以外力压迫抚平晶圆，可以使晶圆是在自然的环境中，由晶圆的圆周中心逐步向外平稳且逐步的摊平无需外力干预，所以晶圆的贴或揭膜的过程中晶圆的安全系数可以大大的提高；利用温度加热器的提高温度，促使晶圆结构稍微柔软，如此能降低晶圆应力的强度使其柔软，晶圆在静电吸附的抚平过程中，晶圆会更加的柔和与安全，避免晶圆破碎，还能够使有黏性的胶膜黏贴在晶圆上更加的牢固，并降低或减少黏性胶膜与晶圆之间的空气残留所形成的气泡，有效防止切割划片工序中出现飞
2023-06-07
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